一种基于自适应的半导体AMHS轨道布局方法及装置

    公开(公告)号:CN117726047B

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202410173230.1

    申请日:2024-02-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于自适应的半导体AMHS轨道布局方法及装置,获取用于半导体生产的设备布局信息,得到半导体生产的布局类型;确定划分的洁净区域和通道,给出对应洁净区域和通道的设备属性信息列表,形成针对半导体生产的搬运需求列表;基于设备属性信息列表及搬运需求列表,通过第一自适应规则确定目标轨道的层级及各层级对应的轨数,并确定各级目标轨道的位置;根据设备属性信息列表,通过第二自适应规则,确定过渡轨道的轨数和位置;基于各级目标轨道以及过渡轨道的轨数和位置,完成半导体AMHS轨道的布局。通过自适应、分层级的设置,实现AMHS轨道的快速高效布局,又根据生产搬运需求优化、调整,提升半导体生产中物流搬运效率。

    半导体生产线布局中环境要素评价方法及装置

    公开(公告)号:CN117592854B

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202311592852.X

    申请日:2023-11-27

    Abstract: 本发明公开了半导体生产线布局中环境要素评价方法及装置,方法具体包括如下步骤:采集半导体的生产工艺流程以及半导体生产线的布局信息;给出各个生产设备的位置信息;获取影响半导体生产线布局的各个环境要素;基于距离指标,给出各个环境要素的影响度区域;结合每个生产设备对各个环境要素的抗干扰度及每个生产设备的位置信息,得到每个生产设备的环境要素评价体系,实现半导体生产线布局的各个生产设备的环境要素评价。本发明针对环境要素,结合距离、影响权重及抗干扰度等指标,以生产设备为单位,给出半导体生产线布局中环境评价结果,既能确保半导体产品的高品质和高良品率,也能指导半导体生产线布局的优化。

    一种基于自适应的半导体AMHS轨道布局方法及装置

    公开(公告)号:CN117726047A

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202410173230.1

    申请日:2024-02-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于自适应的半导体AMHS轨道布局方法及装置,获取用于半导体生产的设备布局信息,得到半导体生产的布局类型;确定划分的洁净区域和通道,给出对应洁净区域和通道的设备属性信息列表,形成针对半导体生产的搬运需求列表;基于设备属性信息列表及搬运需求列表,通过第一自适应规则确定目标轨道的层级及各层级对应的轨数,并确定各级目标轨道的位置;根据设备属性信息列表,通过第二自适应规则,确定过渡轨道的轨数和位置;基于各级目标轨道以及过渡轨道的轨数和位置,完成半导体AMHS轨道的布局。通过自适应、分层级的设置,实现AMHS轨道的快速高效布局,又根据生产搬运需求优化、调整,提升半导体生产中物流搬运效率。

    半导体生产线布局中环境要素评价方法及装置

    公开(公告)号:CN117592854A

    公开(公告)日:2024-02-23

    申请号:CN202311592852.X

    申请日:2023-11-27

    Abstract: 本发明公开了半导体生产线布局中环境要素评价方法及装置,方法具体包括如下步骤:采集半导体的生产工艺流程以及半导体生产线的布局信息;给出各个生产设备的位置信息;获取影响半导体生产线布局的各个环境要素;基于距离指标,给出各个环境要素的影响度区域;结合每个生产设备对各个环境要素的抗干扰度及每个生产设备的位置信息,得到每个生产设备的环境要素评价体系,实现半导体生产线布局的各个生产设备的环境要素评价。本发明针对环境要素,结合距离、影响权重及抗干扰度等指标,以生产设备为单位,给出半导体生产线布局中环境评价结果,既能确保半导体产品的高品质和高良品率,也能指导半导体生产线布局的优化。

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