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公开(公告)号：CN111288104B
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN201811489287.3
申请日：2018-12-06
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
Abstract: 本发明涉及微振动控制精密装备领域，公开一种隔振系统；该隔振系统包括隔振地基、隔振器、隔振座、密闭罐、实验台、支撑柱、支撑杆和软连接套管；其中，所述隔振座通过所述隔振器支撑于所述隔振地基上；所述密闭罐位于所述隔振座的上方，且通过贯穿所述隔振座的所述支撑柱支撑于所述隔振地基上；所述实验台位于所述密闭罐内、且通过穿过所述密闭罐的所述支撑杆支撑于所述隔振座上；所述软连接套管套设在所述支撑杆外部、且与所述密闭罐密闭连接。上述隔振系统具有良好的隔振效果，且对隔振座、隔振器和占地面积的要求较少，尤其适合大型密闭实验隔振系统。
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公开(公告)号：CN115636557B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211436541.X
申请日：2022-11-16
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: C02F9/00 , C02F103/04 , C02F101/38 , C02F101/34
Abstract: 本发明公开了一种纳米制程集成电路清洗水的制备方法，方法中，对一次纯水进行深除盐处理，一次纯水经第一混合光解吸收器降解总有机碳并脱除弱离子化杂质，随后通过第一真空膜脱气装置脱去氧气形成二次纯水；对二次纯水进行抛光处理，二次纯水经过催化型混合光解吸收器将痕量金属离子、弱离子化杂质和低分子有机物分别脱除至ppq级、ppt级和ppb级，同时将自由基复合氧化剂控制在亚ppb级。制备方法不仅提高了清洗水超低分子有机物的降解效率，将解离常数小于10‑9的弱离子化杂质降除至1 ng/l以下，而且可有效淬灭光解次生氧化剂，将其浓度在POD端控制在1μg/l以内。
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公开(公告)号：CN109656275B
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN201811488123.9
申请日：2018-12-06
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G05D19/02
Abstract: 本发明公开了一种主动隔振的控制方法及装置，采集振动环境中多个振源的振动信号，该振源包括固定频率的振源以及非固定频率的振源，将采集到的时域上的振动信号转换为频域信号，并在频域信号中确定固定频率的振源的振动信号，对固定频率的振源的振动信号进行控制，通过在所有振动源发出的振动信号中选择出固定频率的振动信号，并对其进行控制，从而能够对固定频率的振源发出的振动信号进行控制，提高对固定频率的振源发出的振动信号的隔振效果。
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公开(公告)号：CN113294487A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110677299.4
申请日：2021-06-18
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: F16F15/023 , F16F15/04 , F16F15/06 , F16F15/08 , F16M5/00
Abstract: 本发明公开了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统，涉及大型精密装备隔振技术领域，包括隔振组件及承载平台，隔振组件设置于精密装备下方，承载平台为多个，多个承载平台在精密装备内竖向排布，且各个承载平台均由隔振组件支撑。本发明的一体化控制的大型精密装备隔振系统，在大型精密装备内部设置了多个竖向排布的承载平台，并一体化受控于隔振组件之上，通过一体化的方式实现对不同维度的精密器件的隔振，解决了困扰业界许久的问题，该系统在满足设备多维度隔振效果的基础上，还能够大幅降低投入和运行成本，提高精密装备检测效率。
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公开(公告)号：CN109683639B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201811488122.4
申请日：2018-12-06
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G05D19/02
Abstract: 本发明公开了一种主动隔振的控制方法及装置，采集振动环境中多个振源的振动信号，该振源包括固定频率的振源以及非固定频率的振源，将采集到的时域上的振动信号转换为频域信号，并在频域信号中确定固定频率的振源的振动信号，对固定频率的振源的振动信号进行控制，通过在所有振动源发出的振动信号中选择出固定频率的振动信号，并对其进行控制，从而能够对固定频率的振源发出的振动信号进行控制，提高对固定频率的振源发出的振动信号的隔振效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113294487B
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202110677299.4
申请日：2021-06-18
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: F16F15/023 , F16F15/04 , F16F15/06 , F16F15/08 , F16M5/00
Abstract: 本发明公开了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统，涉及大型精密装备隔振技术领域，包括隔振组件及承载平台，隔振组件设置于精密装备下方，承载平台为多个，多个承载平台在精密装备内竖向排布，且各个承载平台均由隔振组件支撑。本发明的一体化控制的大型精密装备隔振系统，在大型精密装备内部设置了多个竖向排布的承载平台，并一体化受控于隔振组件之上，通过一体化的方式实现对不同维度的精密器件的隔振，解决了困扰业界许久的问题，该系统在满足设备多维度隔振效果的基础上，还能够大幅降低投入和运行成本，提高精密装备检测效率。
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公开(公告)号：CN111609079A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010467385.8
申请日：2020-05-28
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: F16F15/023 , F16J15/06 , F17C13/08
Abstract: 本发明涉及隔振密封技术领域，公开了一种隔振密封系统。该隔振密封系统包括密封舱体以及用于支撑密封舱体的底架，且密封舱体的底部设有接口；还包括设置在密封舱体内部的载荷平台以及设置在密封舱体外部的支撑台座，载荷平台底部的支撑件穿过接口固定在支撑台座上，且支撑件与接口之间设有柔性密封装置。上述实施例中，载荷平台通过从密封舱体内部穿出的支撑件落于支撑台座上，与密封舱体进行了分离，同时，支撑件与接口之间设有柔性密封装置，在实现密封效果的同时，具有较低的刚度，提高了隔振效果。
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公开(公告)号：CN111288104A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201811489287.3
申请日：2018-12-06
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
Abstract: 本发明涉及微振动控制精密装备领域，公开一种隔振系统；该隔振系统包括隔振地基、隔振器、隔振座、密闭罐、实验台、支撑柱、支撑杆和软连接套管；其中，所述隔振座通过所述隔振器支撑于所述隔振地基上；所述密闭罐位于所述隔振座的上方，且通过贯穿所述隔振座的所述支撑柱支撑于所述隔振地基上；所述实验台位于所述密闭罐内、且通过穿过所述密闭罐的所述支撑杆支撑于所述隔振座上；所述软连接套管套设在所述支撑杆外部、且与所述密闭罐密闭连接。上述隔振系统具有良好的隔振效果，且对隔振座、隔振器和占地面积的要求较少，尤其适合大型密闭实验隔振系统。
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公开(公告)号：CN111155672A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010025852.1
申请日：2020-01-10
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
Abstract: 本发明提供了一种基于剪切增稠液体的自适应调谐质量阻尼器，包括底座、两个侧板、圆轴、质量块、两组聚氨酯螺旋软管，直线轴承和两组拉簧，两侧板互相对称与底座垂直固定连接，在两侧板和质量块之间均安装有拉簧，在两组侧板和质量块之间均安装有聚氨酯螺旋软管，每个聚氨酯螺旋软管内部充满剪切增稠液体；当质量块发生左、右往复运动时，聚氨酯螺旋软管及其内部的剪切增稠液体发生剪切运动，此时剪切增稠液体依据当前振动速度下的粘性系数产生剪切应力，进而产生不同的刚度，实现对本阻尼器整体刚度的自适应调节。本发明结构简单，适用范围广，不需要依赖任何外部措施，能够自主整体刚度的自适应调节。
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公开(公告)号：CN117052036A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310981407.6
申请日：2023-08-04
Applicant: 鞍钢中电建筑科技股份有限公司 , 中国电子工程设计院有限公司
IPC: E04B5/48
Abstract: 本发明涉及洁净厂房建筑领域，公开一种预制奇氏板及楼盖结构。一种预制奇氏板，包括：楼板本体和定位套环；楼板本体具有相对的第一表面和第二表面以及沿第一方向贯穿楼板本体的多个通风孔；定位套环包括套环本体以及套设于套环本体外部的环形加劲肋，套环本体的轴线与通风孔的轴线重合，且套环本体的内壁尺寸与通风孔的孔壁尺寸相等；环形加劲肋将套环本体沿套环本体的轴线方向隔成第一连接段和第二连接段；第一连接段和环形加劲肋与楼板本体在工厂浇筑为一体式结构，且第二连接段探出楼板本体的第一表面，用于固定奇氏筒，并防止现场浇筑时漏浆，保证了通风孔的孔壁的洁净度满足洁净厂房的需求。
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