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公开(公告)号：CN110176873B
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201910444827.4
申请日：2019-05-27
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种微马达实时控制方法及系统，方法包括：获取微马达运动状态的电压数字信号；对数字信号进行滤波去噪、降采样；将降采样后的数字信号中包含平坦的采样值裁剪掉；对裁剪后的数字信号进行波峰波谷和上升下降沿检测，得到去除干扰点后的数字信号；根据去除干扰点后的数字信号进行极值点校正；基于所述校正后的数字信号计算步进角度；判断所述步进角度是否等于目标步进角度；若步进角度等于目标步进角度，则截断脉冲输出；若步进角度不等于目标步进角度，则重复上述步骤直到当前步进角度等于目标步进角度。本发明中的上述方法能够提高信噪比及抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN111953228A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010810780.1
申请日：2020-08-13
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种无梁型行波马达微驱动器，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连。本发明的无梁型行波马达微驱动器，定子直接与固定支撑相连，省去了梁结构，消除了梁结构带来的影响，且定子直接与固定支撑相连，使定子振膜上下表面无其他约束，直接与空气接触，有利于实现微驱动器振动位移提升，从而提高驱动能力。
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公开(公告)号：CN110044253A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910444857.5
申请日：2019-05-27
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01B7/30
Abstract: 本发明公开一种微马达及内嵌式角度测量装置。本发明提供的内嵌式角度测量装置包括：金属上底座、金属下底座、多个测量顶电极、多个测量底电极、多个屏蔽顶电极和多个屏蔽底电极。对应每一测量顶电极设置有一个测量底电极，测量顶电极和测量底电极形成多个电容结构，微马达的转子转动带动各测量底电极运动，从而改变测量顶电极和测量底电极之间的电容值，通过实时变化的电容值表征转子的转动角度。多个屏蔽顶电极和多个屏蔽底电极形成内屏蔽层，金属上底座和金属下底座盖合后形成外屏蔽层，采用内外两层屏蔽结构设计，使得内嵌式角度测量装置具有较强的屏蔽外界电磁环境干扰的能力，同时避免了在内嵌检测的同时，微马达驱动信号对检测的影响。
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公开(公告)号：CN108413878A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810217398.2
申请日：2018-03-16
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种光学位移阈值传感器、光学位移阈值检测方法及系统。光学位移阈值检测方法包括：获取外置反射镜与激光器之间的当前距离、所述激光器发射的总功率以及光电二极管的半径；按照移动距离阈值移动所述外置反射镜，获取所述外置反射镜与所述激光器之间的第一变换距离；根据所述半径确定所述光电二极管接收到的激光面积；根据所述总功率确定所述光电二极管接收到的一束激光的光强；根据所述激光面积以及所述一束激光的光强确定激光总光强；根据所述激光总光强确定光学位移阈值；所述光学位移阈值为光学位移极大值。采用本发明所提供的光学位移阈值传感器、光学位移阈值检测方法及系统能够提高光学位移阈值的检测精度。
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公开(公告)号：CN111952433A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010810784.X
申请日：2020-08-13
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: H01L41/047 , H02N2/00
Abstract: 本发明公开一种压电行波微执行器的孤极结构，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连；定子包括依次叠加设置的驱动电极、压电材料层、下电极和振膜支撑层，驱动电极位于压电材料层的顶部，驱动电极的外边沿与固定支撑之间具有间隙，驱动电极的外边沿与固定支撑之间设置孤极，孤极设置于压电材料层的顶部，孤极能够对压电信号进行检测和分析。本发明的压电行波微执行器的孤极结构，在驱动电极与固定支撑之间设置孤极，孤极可用于行波状态的原位在线检测，检测信号能准确反应定子表面行波状态，孤极设置于驱动电极与固定支撑之间，对驱动信号不会造成影响，因而不会带来执行器驱动力能力损失。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108413878B
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201810217398.2
申请日：2018-03-16
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种光学位移阈值传感器、光学位移阈值检测方法及系统。光学位移阈值检测方法包括：获取外置反射镜与激光器之间的当前距离、所述激光器发射的总功率以及光电二极管的半径；按照移动距离阈值移动所述外置反射镜，获取所述外置反射镜与所述激光器之间的第一变换距离；根据所述半径确定所述光电二极管接收到的激光面积；根据所述总功率确定所述光电二极管接收到的一束激光的光强；根据所述激光面积以及所述一束激光的光强确定激光总光强；根据所述激光总光强确定光学位移阈值；所述光学位移阈值为光学位移极大值。采用本发明所提供的光学位移阈值传感器、光学位移阈值检测方法及系统能够提高光学位移阈值的检测精度。
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公开(公告)号：CN108253882A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201810315630.6
申请日：2018-04-10
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种微马达的角度测量装置，所述角度测量装置包括：若干个上电极和若干个下电极；多个所述上电极设置在微马达的上底座，多个所述上电极处于一个以定子为中心的圆环上，所述定子设置在所述上底座上；所述下电极设置在微马达的转子底板上，多个所述下电极处于一个以转子为中心的圆环上，所述上电极与所述下电极形成多个电容结构。本发明采用电容方式来对微马达的状态进行检测，用来提高装置的抗干扰能力和检测精度。
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公开(公告)号：CN108599617A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810283770.X
申请日：2018-04-02
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: H02N2/12
Abstract: 本发明公开一种用于超声微马达的预紧力加载结构，包括定子、转子和底座，所述底座的底端中央固设有永磁体，所述底座顶部中央的圆环柱支撑所述定子的振动平面，且所述圆环柱的顶端设置有环形凹陷部，所述转子设置于所述定子上方，且所述转子的材料为软铁、镍或铁镍合金。本发明用于超声微马达的预紧力加载结构采用磁力吸附的方式实现超声微马达中定子和转子间预紧力的精确加载，能够满足超声微马达中定子和转子间微小预紧力的需要。
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公开(公告)号：CN111952433B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202010810784.X
申请日：2020-08-13
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种压电行波微执行器的孤极结构，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连；定子包括依次叠加设置的驱动电极、压电材料层、下电极和振膜支撑层，驱动电极位于压电材料层的顶部，驱动电极的外边沿与固定支撑之间具有间隙，驱动电极的外边沿与固定支撑之间设置孤极，孤极设置于压电材料层的顶部，孤极能够对压电信号进行检测和分析。本发明的压电行波微执行器的孤极结构，在驱动电极与固定支撑之间设置孤极，孤极可用于行波状态的原位在线检测，检测信号能准确反应定子表面行波状态，孤极设置于驱动电极与固定支撑之间，对驱动信号不会造成影响，因而不会带来执行器驱动力能力损失。
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公开(公告)号：CN111953229A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010810914.X
申请日：2020-08-13
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种行波微执行器位移放大结构，包括齿条，齿条设置于行波微执行器的定子上，沿行波微执行器的定子的轴线方向，齿条凸出于行波微执行器的定子且朝向转子方向设置，齿条的顶面面积较行波微执行器的定子面积小。本发明的行波微执行器位移放大结构，在定子表面设置齿条，齿条凸出于定子表面设置且几乎不改变中性面，提高了定子表面质点到中性面的距离，从而实现行波传递过程中定子表面质点椭圆运动的位移提升，提高椭圆运动切向速度，进而为转子转动提供更多的能量，获得更高的转速，实现输出效率提升。
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