-
公开(公告)号：CN115138547A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210762266.4
申请日：2022-06-30
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 为解决现有的换能器背衬填充材料和填充方法不适用于压电微机械超声换能器而导致背腔填充不够完全、不够均匀或不够可控的技术问题；本发明实施例提供一种压电微机械超声换能器背衬材料、制备方法及填充方法，包括：与PMUT器件阻抗相匹配的吸声材料、固化剂和粉末状料；其中，所述吸声材料包括有机硅凝胶和环氧树脂中的一种或几种；本发明实施例通过采用与PMUT器件阻抗相匹配的吸声材料、固化剂和粉末状料制成的背衬材料，在真空或负压环境中对压电微机械超声换能器进行二次固化填充，确保背衬填充中气体的排出，减小背衬中空气对器件特性的影响，实现换能器背衬的可控填充。
-
公开(公告)号：CN110781906A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201810857700.0
申请日：2018-07-31
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明属于本发明涉及中子探测技术领域，具体涉及一种基于半监督支持向量机的n-γ甄别方法,其特征在于包括如下步骤：a)利用模拟数字变换器对探测器输出脉冲信号进行模数变换，收集数字化的探测器脉冲信号，形成训练数据集；利用训练数据集结合半监督的学习方法训练出一个支持向量机，得到一个最优分类超平面；b)对新探测得到的脉冲进行数字化，并进行特征提取预处理：提取脉冲信号的重要特征信息；c)将提取到的特征信息输入到支持向量机中，利用上述分类超平面结合上述提取特征进行对新探测到的脉冲样本进行分类预测。
-
公开(公告)号：CN106771366A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611243796.9
申请日：2016-12-29
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01P21/00
CPC classification number: G01P21/00
Abstract: 本发明公开一种MEMS加速度计健康状态监测装置及监测方法。装置包括：微振动平台、外围平台、四个水平支撑梁、四个垂直支撑梁；微振动平台为方形，外围平台位于微振动平台的外围；四个水平支撑梁和四个垂直支撑梁位于微振动平台和外围平台之间；每个水平支撑梁的一端连接到对应的垂直支撑梁的一端，并与垂直支撑梁形成直角结构；四个直角结构沿顺时针方向依次均匀分布在微振动平台的四周；每个直角结构的水平支撑梁和垂直支撑梁分别与微振动平台的两个边缘平行；每个直角结构的水平支撑梁一端与外围平台连接，垂直支撑梁一端连接到对应的微振动平台边缘的中部。本发明的装置及方法可以实现MEMS加速度计在测量较高加速度时的健康状态监测。
-
公开(公告)号：CN106949955A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710253867.1
申请日：2017-04-18
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01H9/00
CPC classification number: G01H9/00
Abstract: 本发明公开一种基于光学检测的微机电系统平台，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；平台主体包括振动平台；外部封装板形成密闭空间，将平台主体和光学检测机构封装在密闭空间内部；光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；反射镜水平固定在振动平台顶部，镜面朝向外部封装板的顶部；激光器和二极管阵列位于外部封装板顶部内侧，二极管阵列包括多个光电二极管；二极管阵列围绕在激光器周围；激光器发出的光照射到反射镜上，经反射镜的反射后形成的反射光照射到二极管阵列上；二极管阵列检测反射光的光强。本发明公开的微机电系统平台，提高了测量结果的线性度，提高了检测精度。
-
公开(公告)号：CN106949955B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN201710253867.1
申请日：2017-04-18
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开一种基于光学检测的微机电系统平台，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；平台主体包括振动平台；外部封装板形成密闭空间，将平台主体和光学检测机构封装在密闭空间内部；光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；反射镜水平固定在振动平台顶部，镜面朝向外部封装板的顶部；激光器和二极管阵列位于外部封装板顶部内侧，二极管阵列包括多个光电二极管；二极管阵列围绕在激光器周围；激光器发出的光照射到反射镜上，经反射镜的反射后形成的反射光照射到二极管阵列上；二极管阵列检测反射光的光强。本发明公开的微机电系统平台，提高了测量结果的线性度，提高了检测精度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114904747A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210762264.5
申请日：2022-06-30
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明公开了一种环形压电微机械声波换能器阵列结构，涉及换能器技术领域，包括多个换能器单元和多个引线结构；换能器单元排列成多个环形阵元，所有环形阵元绕同一圆心A排布；本发明基于传统的环形压电微机械声波换能器阵列进行改进，将换能器单元排列成多个环形阵元后，每个环形阵元均匀分成多个区域，每个区域的所有换能器单元通过同一个引线结构引出到焊盘，减小引线结构的分压，进而保障环形阵列性能。
-
公开(公告)号：CN108317233A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810312357.1
申请日：2018-04-09
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种应用于MEMS微纳加工的一体化无装配多层微齿轮结构，包括生根轴承、第一阶梯型齿轮定位结构、第二阶梯型齿轮定位结构和多层齿轮层，所述生根轴承下端面固定连接在一齿轮基底上，所述第二阶梯型齿轮定位结构设置于所述生根轴承的下端，所述第二阶梯型齿轮定位结构固定连接在所述齿轮基底上，所述第一阶梯型齿轮定位结构设置于所述生根轴承的上端，所述多层齿轮层套设在所述生根轴承的中部。本发明的多层微齿轮结构为一体化结构，多层微齿轮结构的装配精度一致性更好，更适于批量化生产，齿轮结构连接强度更高。
-
公开(公告)号：CN110781906B
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN201810857700.0
申请日：2018-07-31
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G06F18/214 , G06F18/2411 , G01T3/06
-
公开(公告)号：CN115060354A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210762277.2
申请日：2022-06-30
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种针对压电微机械超声换能器的全聚焦成像方法及装置，该方法包括：获取若干压电微机械超声换能器单元的回波信号组成的全矩阵回波数据；对所述全矩阵回波数据中的每个回波信号进行预处理，得到预处理后的全矩阵回波数据；根据所述预处理后的全矩阵回波数据，采用全聚焦成像及补偿法对所述预处理后的全矩阵回波数据进行全聚焦成像，得到全聚焦原始成像图。本发明解决了目前使用压电微机械超声换能器阵列进行成像时，回波信号幅值小噪声严重，信噪比低，最终成像质量差的问题，提高了最终成像质量；另外，本发明由于不需要控制声束聚焦与偏转，无需硬件延时控制，可以直接避免使用高精度硬件延时，极大地减小了硬件设计的成本。
-
公开(公告)号：CN111957544B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010810942.1
申请日：2020-08-13
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明公开一种压电微机械超声换能器背衬结构，包括相连的填充部和倾斜部，填充部设置于压电微机械超声换能器的背腔中，倾斜部远离填充部的一侧具有倾斜面，倾斜面与压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间具有夹角。本发明的压电微机械超声换能器背衬结构，倾斜部设置倾斜面，传播的声波经过填充部和倾斜部吸收的同时，在倾斜面被反射，减少反射回压电薄膜的声波，提升压电微机械超声换能器的分辨率。压电微机械超声换能器阵列中，多个倾斜面与其相对应的压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间的夹角相一致，使压电微机械超声换能器阵列各个单元间具有相同的背衬衰减特性，提升压电微机械超声换能器阵列各单元的一致性。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
24
records
(took 0.032 seconds)
