高精度偏振二向反射自动测量仪

    公开(公告)号:CN104266968B

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201410453509.1

    申请日:2014-09-05

    Inventor: 金伟东 张昊

    Abstract: 本发明公开了一种高精度偏振二向反射自动测量仪,包括激光器、光纤耦合器和自动调节收发器,激光器和光纤耦合器之间放置斩波器;该自动调节收发器包括伺服电机、同轴的发射臂和接收臂,发射臂和接收臂上均安装有数字角度计,数字角度计与上位机连接;伺服电机控制接收臂在主平面的转动,光纤耦合器通过光纤与发射臂上的发射套筒连接,发射套筒中的光照射到样品台的样品上;接收臂上安装有接收套筒,该接收套筒内设有光信号采集模块,采集的光信号被输入到第一锁相放大器;信号经第一锁相放大器处理后,将处理结果输入上位机,上位机再对信号进行处理并显示处理结果。

    高精度偏振二向反射自动测量仪

    公开(公告)号:CN104266968A

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201410453509.1

    申请日:2014-09-05

    Inventor: 金伟东 张昊

    Abstract: 本发明公开了一种高精度偏振二向反射自动测量仪,包括激光器、光纤耦合器和自动调节收发器,激光器和光纤耦合器之间放置斩波器;该自动调节收发器包括伺服电机、同轴的发射臂和接收臂,发射臂和接收臂上均安装有数字角度计,数字角度计与上位机连接;伺服电机控制接收臂在主平面的转动,光纤耦合器通过光纤与发射臂上的发射套筒连接,发射套筒中的光照射到样品台的样品上;接收臂上安装有接收套筒,该接收套筒内设有光信号采集模块,采集的光信号被输入到第一锁相放大器;信号经第一锁相放大器处理后,将处理结果输入上位机,上位机再对信号进行处理并显示处理结果。

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