公开(公告)号：CN108330445B

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201810192711.1

申请日：2018-03-09

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 于翔 ,  王彩萍 ,  张月娟

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/32

Abstract: 本发明公开了一种冲孔针头表面多弧离子镀掺杂钛的类金刚石膜的方法，属于镀膜工艺技术领域，该方法采用多弧真空离子镀膜机在冲孔针头上镀含合金元素的类金刚石膜，首先对冲孔针头进行打磨，之后超声清洗，然后再放入多弧真空离子镀膜机中进行镀膜，申请人通过对镀膜工艺大量摸索，优化了镀膜的工艺条件，降低了DLC薄膜的内应力并提高其热稳定性，提高材质的高温强度，钢的软化程度减少，在高温镀膜后能在喷丝头冲孔中保持其本征硬度。

公开(公告)号：CN108330445A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810192711.1

申请日：2018-03-09

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 张月娟 ,  于翔 ,  王彩萍 ,  安源程 ,  杨思晗

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/32

Abstract: 本发明公开了一种冲孔针头表面多弧离子镀掺杂钛的类金刚石膜的方法，属于镀膜工艺技术领域，该方法采用多弧真空离子镀膜机在冲孔针头上镀含合金元素的类金刚石膜，首先对冲孔针头进行打磨，之后超声清洗，然后再放入多弧真空离子镀膜机中进行镀膜，申请人通过对镀膜工艺大量摸索，优化了镀膜的工艺条件，降低了DLC薄膜的内应力并提高其热稳定性，提高材质的高温强度，钢的软化程度减少，在高温镀膜后能在喷丝头冲孔中保持其本征硬度。