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公开(公告)号：CN203441709U
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201320372458.0
申请日：2013-06-27
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: F04B41/06
Abstract: 本实用新型是一种钎焊烧结炉腔室抽真空装置。它主要包括两套并联的抽真空泵组。其中第I泵组为抽粗真空泵组，在低真空有烟尘污染的情况下使用，第II泵组为抽高真空泵组，在高真空少污染时使用。钎焊烧结炉工作过程中会出现固体颗粒、有害气体时，仅第I泵组工作，用喷射泵来抽取混合气体，当压力达到0.08-0.095Mpa时，管路内气流几乎无法携带烟尘，此时关闭第I泵组，仅连通第II泵组工作。该粗真空喷射泵组I无机械运动部件，不易被气体颗粒污染磨损，且能将烟尘溶于水中，避免了环境污染，简单实用。
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