可调平面阴极机构及真空镀膜装置

    公开(公告)号:CN108570648A

    公开(公告)日:2018-09-25

    申请号:CN201710136460.0

    申请日:2017-03-08

    Abstract: 一种可调平面阴极机构及真空镀膜装置,包括平面阴极部件及多个移位组件。平面阴极部件包括阴极体基座、背板、靶材压板及多个磁体组件;背板与阴极体基座形成收容腔;靶材压板用于将靶材定位于背板的外侧;多个磁体组件设于收容腔中,多个磁体组件与背板相对而设,且多个磁体组件沿阴极体基座的长度方向分布;多个移位组件分别与多个磁体组件连接,各移位组件能带动对应的磁体组件远离或靠近背板运动,以增大或减小磁体组件与靶材的距离,进而增大或减小靶材与磁体组件相对的表面的磁场强度。该可调平面阴极机构中,多个磁体组件可独立调节靶材上与各磁体组件相对的表面的磁场强度,且通过移位组件实现了靶材表面的磁场强度的自动在线调节。

    玻璃深加工控制系统
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102775053B

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201210271500.X

    申请日:2012-08-01

    CPC classification number: Y02P40/57

    Abstract: 一种玻璃深加工控制系统,包括操作控制模块、切片模块、磨边模块、钢化模块、第一传动模块及第二传动模块;操作控制模块分别与切片模块、磨边模块、钢化模块、第一传动模块及第二传动模块连接并进行数据交互;切片模块控制切片台将玻璃基材切割成预定尺寸的玻璃工件,第一传动模块控制第一传动台将切割后的玻璃工件传送给磨边机进行磨边处理,第二传动模块控制第一传动台将磨边后的玻璃工件传送给钢化装置进行钢化处理。通过传动模块将切片、磨边及钢化等生产工序连接成连续的生产线,避免工序中出现周转的情况,并且利用操作控制模块对切片、磨边、钢化及传送等工序进行整体控制,节约人工成本,因而能够提高生产效率降低生产成本。

    玻璃深加工控制系统
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102775053A

    公开(公告)日:2012-11-14

    申请号:CN201210271500.X

    申请日:2012-08-01

    CPC classification number: Y02P40/57

    Abstract: 一种玻璃深加工控制系统,包括操作控制模块、切片模块、磨边模块、钢化模块、第一传动模块及第二传动模块;操作控制模块分别与切片模块、磨边模块、钢化模块、第一传动模块及第二传动模块连接并进行数据交互;切片模块控制切片台将玻璃基材切割成预定尺寸的玻璃工件,第一传动模块控制第一传动台将切割后的玻璃工件传送给磨边机进行磨边处理,第二传动模块控制第一传动台将磨边后的玻璃工件传送给钢化装置进行钢化处理。通过传动模块将切片、磨边及钢化等生产工序连接成连续的生产线,避免工序中出现周转的情况,并且利用操作控制模块对切片、磨边、钢化及传送等工序进行整体控制,节约人工成本,因而能够提高生产效率降低生产成本。

    连续性生产夹层玻璃的装备

    公开(公告)号:CN217729939U

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202221232735.3

    申请日:2022-05-20

    Abstract: 本实用新型公开了一种连续性生产夹层玻璃的装备,包括:预热室,用于对送入的玻璃合片自动进行抽真空和预热;辊压室,用于对送入的玻璃合片进行辊压;冷却室,对接所述辊压室,所述冷却室设置有冷却机构,用于对送入的玻璃合片进行冷却;输送机构,用于实现玻璃合片在所述预热室、所述辊压室、所述冷却室之间的输送。本实用新型可以通过预热室的真空度来将玻璃合片中胶片的空气挤压出来,同时通过预热来融化胶片,达到预热预压的目的和效果,之后再经过辊压、冷却成型即可。本实用新型不需要人工干预、转运玻璃合片,只需要最开始的时候人工将玻璃合片送入预热室即可实现自动化连续作业,结构简单,有助于提高生产效率和产品质量。

    可调平面阴极机构及真空镀膜装置

    公开(公告)号:CN206646159U

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201720228992.2

    申请日:2017-03-08

    Abstract: 一种可调平面阴极机构及真空镀膜装置,包括平面阴极部件及多个移位组件。平面阴极部件包括阴极体基座、背板、靶材压板及多个磁体组件;背板与阴极体基座形成收容腔;靶材压板用于将靶材定位于背板的外侧;多个磁体组件设于收容腔中,多个磁体组件与背板相对而设,且多个磁体组件沿阴极体基座的长度方向分布;多个移位组件分别与多个磁体组件连接,各移位组件能带动对应的磁体组件远离或靠近背板运动,以增大或减小磁体组件与靶材的距离,进而增大或减小靶材与磁体组件相对的表面的磁场强度。该可调平面阴极机构中,多个磁体组件可独立调节靶材上与各磁体组件相对的表面的磁场强度,且通过移位组件实现了靶材表面的磁场强度的自动在线调节。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    平面阴极靶泵一体镀膜设备

    公开(公告)号:CN217733250U

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202221209985.5

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本实用新型公开了一种平面阴极靶泵一体镀膜设备,包括:真空腔室;阴极靶泵一体装置,所述阴极靶泵一体装置设置在所述真空腔室的顶部,所述阴极靶泵一体装置设置有阴极靶材安装部、真空机构和冷却机构;阴极靶材,安装在所述阴极靶材安装部上并位于所述真空腔室内。本实用新型将真空机构、冷却机构集成在一起,同时阴极靶材安装部也集成在一起,即将传统的两个盖板的结构集成在了一起,对应的也只需要设置一个盖板即可,优化了结构组成,真空腔室的宽度能够减小,进而抽真空的体积得以减小,能够降低能耗,并且有助于减少分子泵的数量设置,降低生产成本。

    玻璃镀膜生产线
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217479338U

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202221347813.4

    申请日:2022-05-31

    Abstract: 本实用新型公开了一种玻璃镀膜生产线,包括进口室、第一抽气装置、进口缓冲室、第二抽气装置与第一通气组件,进口室设置有进料口,进料口设置有进口门;第一抽气装置与进口室相连接;进口室与进口缓冲室相连接,且之间设置有第一传送口,第一传送口设置有第一封闭门;第二抽气装置与进口缓冲室相连接;第一通气组件包括第一抽气管道与第一阀门,第一抽气管道连接于进口室与进口缓冲室之间,第一阀门设置于第一抽气管道。进口缓冲室内部的真空度能够通过第一抽气管道补偿至进口室内部的真空度,使进口室内部的真空度快速达到满足打开第一封闭门的真空度,减少了玻璃在进口室的滞留时间,加快了玻璃镀膜生产线的输送速度。

    玻璃深加工控制系统
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN202720508U

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201220378933.0

    申请日:2012-08-01

    CPC classification number: Y02P40/57 Y02P90/02

    Abstract: 一种玻璃深加工控制系统,包括操作控制模块、切片模块、磨边模块、钢化模块、第一传动模块及第二传动模块;操作控制模块分别与切片模块、磨边模块、钢化模块、第一传动模块及第二传动模块连接并进行数据交互;切片模块控制切片台将玻璃基材切割成预定尺寸的玻璃工件,第一传动模块控制第一传动台将切割后的玻璃工件传送给磨边机进行磨边处理,第二传动模块控制第一传动台将磨边后的玻璃工件传送给钢化装置进行钢化处理。通过传动模块将切片、磨边及钢化等生产工序连接成连续的生产线,避免工序中出现周转的情况,并且利用操作控制模块对切片、磨边、钢化及传送等工序进行整体控制,节约人工成本,因而能够提高生产效率降低生产成本。

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