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发明公开
基于微锥曲体薄膜谐振增强型光声传感器及其工艺审中-实审

公开(公告)号：CN118533762A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410797042.6

申请日：2024-06-20

Applicant: 中南民族大学

Inventor： 倪文军 , 赵忠科 , 杨春勇 , 冉思向 , 张李康 , 陈朝烁

IPC: G01N21/17 , G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种基于微锥曲体薄膜谐振增强型光声传感器及其工艺，涉及光声光谱和痕量气体检测技术领域。本传感器包括光纤准直器(1)、气孔(2)、圆柱缓冲室(3)、微锥曲体谐振腔(4)和金属薄膜(5)；光纤准直器(1)、圆柱缓冲室(3)、微锥曲体谐振腔(4)和金属薄膜(5)依次连接；在圆柱缓冲室(3)左边的上下分别设置有气孔(2)。本发明具有下列优点和积极效果：①本发明将光声池与麦克风结合为一个微型器件缩小传感器的尺寸；②由于采用微锥曲体谐振腔，将传感器体积缩小至亚立方厘米；③该微锥曲体薄膜谐振增强型光声传感器成本低、尺寸小、信噪比好、灵敏度高、检测极限低、系统稳定性好。

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