一种阶梯式反射镜耦合封装设备及方法

    公开(公告)号:CN115603166A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211329419.2

    申请日:2022-10-27

    Abstract: 本发明提供了一种阶梯式反射镜耦合封装设备,包括反射镜装料组件、反射镜夹具组件、器件夹持组件、点胶固化组件以及耦合检测组件。其中,所述反射镜夹具组件包括反射镜夹头以及夹头运动模组,所述夹头运动模组具有多个运动自由度,所述反射镜夹头包括夹持部以及通光部,所述夹持部对反射镜的侧面夹持固定,所述通光部位于夹持后所述反射镜的上方,用于所述反射镜耦合时其它高路光的通过。本发明能够由高路向低路的顺序对反射镜进行耦合封装,反射镜夹头的通光部不会对高路反射激光产生遮挡,能够采用整体功率检测确认耦合精度的方式,使各个反射镜的高度位置耦合准确,有效提升了阶梯式反射镜耦合封装的质量。

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