公开(公告)号：CN114988715B

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202210574612.6

申请日：2022-05-25

Applicant: 中南大学

Inventor： 刘芳洋 ,  杨文通 ,  郑博琳 ,  潘逸宁 ,  蒋良兴 ,  张宗良 ,  贾明

IPC: C03C17/22 ,  C01G19/00 ,  H01L31/032

Abstract: 本发明提供了一种通过倒置退火的方式制备铜锌锡硫薄膜的方法。该方法是将含有铜盐、锌盐和锡盐的前驱体溶液旋涂于清洗干净的钼玻璃上；随后将湿膜膜面朝下放置于热台上进行倒置退火，重复数次得到铜锌锡硫预置层薄膜；最后将预置层薄膜放入快速热退火炉内进行硫化退火处理，得到所述的铜锌锡硫薄膜。本发明利用衬底和热板的覆盖效应以及重力的双重作用，对CZTS预置层薄膜进行调控和优化，使元素在预置层中均匀分散，并在经过硫化退火后可得到具有高结晶度、大晶粒尺寸、低表面缺陷态密度的高质量铜锌锡硫吸收层薄膜。

公开(公告)号：CN114988715A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210574612.6

申请日：2022-05-25

Applicant: 中南大学

Inventor： 刘芳洋 ,  杨文通 ,  郑博琳 ,  潘逸宁 ,  蒋良兴 ,  张宗良 ,  贾明

IPC: C03C17/22 ,  C01G19/00 ,  H01L31/032

Abstract: 本发明提供了一种通过倒置退火的方式制备铜锌锡硫薄膜的方法。该方法是将含有铜盐、锌盐和锡盐的前驱体溶液旋涂于清洗干净的钼玻璃上；随后将湿膜膜面朝下放置于热台上进行倒置退火，重复数次得到铜锌锡硫预置层薄膜；最后将预置层薄膜放入快速热退火炉内进行硫化退火处理，得到所述的铜锌锡硫薄膜。本发明利用衬底和热板的覆盖效应以及重力的双重作用，对CZTS预置层薄膜进行调控和优化，使元素在预置层中均匀分散，并在经过硫化退火后可得到具有高结晶度、大晶粒尺寸、低表面缺陷态密度的高质量铜锌锡硫吸收层薄膜。