公开(公告)号：CN110421278A

公开(公告)日：2019-11-08

申请号：CN201910671399.9

申请日：2019-07-24

Applicant: 中南大学

Inventor： 孙小燕 ,  褚东凯 ,  胡友旺 ,  段吉安

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/067 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/06

Abstract: 本发明涉及一种高效的获取高深径比微通道的加工方法，所述加工方法包括：通过光学元件将激光器发出的激光分解成至少第一激光和第二激光，所述第一激光和第二激光经过不同的光路后通过所述光学元件聚集形成双脉冲高斯光束，其中，所述第一激光和第二激光之间具有预设的时间间隔，所述第一激光或第二激光的光路中设有调整所述第一激光和第二激光的预设的时间间隔的等腰直角棱镜；所述双脉冲高斯光束经过空间整形元件转换成双脉冲贝塞尔激光，并对透明介质中微通道的预设位置进行加工。该加工方法可以通过双脉冲贝塞尔激光获得高深径比的微通道，且加工结果明显的优于采用传统的单贝塞尔光束和双脉冲高斯光束的加工效果。

公开(公告)号：CN107378235A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201710811655.0

申请日：2017-09-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 孙小燕 ,  褚东凯 ,  胡友旺 ,  段吉安 ,  银恺

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/03

CPC classification number: B23K26/0673 ,  B23K26/03 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/0648

Abstract: 本发明提供了一种飞秒激光加工系统及方法，所述方法包括：开启所述第一光闸，关闭所述第二光闸，所述第一光路将所述第一飞秒激光束的激光通量调整至低于所述待加工工件的改性阈值，并将经调整后的第一飞秒激光束传播至待加工工件的待加工区域，对所述待加工工件的待加工区域进行辐照；开启所述第二光闸，所述第二光路将所述第二飞秒激光束聚焦至所述待加工工件的待加工区域，对所述待加工工件的待加工区域进行加工。一方面通过在对待加工工件进行加工之前，第一飞秒激光束对待加工工件的待加工区域进行辐照；另一方面通过在对待加工工件进行加工过程中，第一飞秒激光束对待加工工件的待加工区域进行辅助加工，可大幅度提高加工效率。

公开(公告)号：CN106041313B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201610457799.6

申请日：2016-06-22

Applicant: 中南大学

Inventor： 孙小燕 ,  褚东凯 ,  胡友旺 ,  段吉安 ,  王聪

IPC: B23K26/362

Abstract: 本发明提供了一种透明介质微结构均匀改性加工的方法，该方法利用第一激光对透明介质进行加工，以使加工后的透明介质形成若干个改性区域；将经过改性之后的透明介质浸入至腐蚀溶液中，以使所述改性区域被腐蚀，验证其加工均匀性并形成若干个中空的微结构。本发明提供了一种透明介质微结构均匀改性加工的方法，第一激光包含产生高温晶格的激光和对高温晶格再加工的激光，且两者之间具有预设的时间间隔，在对透明介质进行加工时，先到达透明介质的光束能够使得透明介质在该光束的聚集处产生高温晶格，后到达透明介质的光束紧接着对该高温晶格进行加工，使得经过上述方法加工之后的透明介质均匀性好，从而能够达到理想的设计效果。

公开(公告)号：CN106041313A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610457799.6

申请日：2016-06-22

Applicant: 中南大学

Inventor： 孙小燕 ,  褚东凯 ,  胡友旺 ,  段吉安 ,  王聪

IPC: B23K26/362

CPC classification number: B23K26/362 ,  B23K26/355

Abstract: 本发明提供了一种透明介质微结构均匀改性加工的方法，该方法利用第一激光对透明介质进行加工，以使加工后的透明介质形成若干个改性区域；将经过改性之后的透明介质浸入至腐蚀溶液中，以使所述改性区域被腐蚀，验证其加工均匀性并形成若干个中空的微结构。本发明提供了一种透明介质微结构均匀改性加工的方法，第一激光包含产生高温晶格的激光和对高温晶格再加工的激光，且两者之间具有预设的时间间隔，在对透明介质进行加工时，先到达透明介质的光束能够使得透明介质在该光束的聚集处产生高温晶格，后到达透明介质的光束紧接着对该高温晶格进行加工，使得经过上述方法加工之后的透明介质均匀性好，从而能够达到理想的设计效果。

公开(公告)号：CN107378235B

公开(公告)日：2019-02-01

申请号：CN201710811655.0

申请日：2017-09-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 孙小燕 ,  褚东凯 ,  胡友旺 ,  段吉安 ,  银恺

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/03

Abstract: 本发明提供了一种飞秒激光加工系统及方法，所述方法包括：开启所述第一光闸，关闭所述第二光闸，所述第一光路将所述第一飞秒激光束的激光通量调整至低于所述待加工工件的改性阈值，并将经调整后的第一飞秒激光束传播至待加工工件的待加工区域，对所述待加工工件的待加工区域进行辐照；开启所述第二光闸，所述第二光路将所述第二飞秒激光束聚焦至所述待加工工件的待加工区域，对所述待加工工件的待加工区域进行加工。一方面通过在对待加工工件进行加工之前，第一飞秒激光束对待加工工件的待加工区域进行辐照；另一方面通过在对待加工工件进行加工过程中，第一飞秒激光束对待加工工件的待加工区域进行辅助加工，可大幅度提高加工效率。