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公开(公告)号：CN106556347A
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201610990860.3
申请日：2016-11-10
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明提供一种光电子封装柔性并联平台末端位姿检测系统及方法，该系统包括六套位姿检测装置，用于检测动平台的六个自由度的位姿值，同时六个传感器均固定在动平台之外的支架上，动平台只需要安装检测挡板，减轻了动平台的压力，避免对动平台的运动造成干扰；而且传感器具有体积小、安装方便和成本低廉的优点。本发明对柔性并联平台的动平台姿态的检测调整分为宏观位姿检测和微观位姿检测两个部分：宏观位移使得位姿精度控制在十微米范围内，通过六套位姿检测装置测出六自由度平台的实际位姿；微观位姿检测是利用光功率计进行检测调整，通过光功率计来观察透光量的数据，以进行微调。
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公开(公告)号：CN106338250A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201611040387.9
申请日：2016-11-10
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明提供一种用于光电子封装领域的柔性并联平台末端位姿检测系统及方法，该系统包括动平台、定平台、动平台连接件和五套位姿检测装置，五套所述位姿检测装置用于实时检测及控制所述动平台的六个自由度的位姿值。该方法包括宏观位姿检测和微观位姿检测。本发明宏观位姿检测采用五个激光位移传感器对动平台的位姿进行检测，整套检测系统具有体积小、成本低等优点；动平台连接件放置在定平台的下方，两者不接触，不会对动平面的运动造成干扰；有两个激光位移传感器放置在柔性并联平台的外面，不会增加对动平台的压力。微观位姿检测是利用光功率计进行调整，通过光功率计的透光量来进行微调。
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公开(公告)号：CN106556347B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201610990860.3
申请日：2016-11-10
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明提供一种光电子封装柔性并联平台末端位姿检测系统及方法，该系统包括六套位姿检测装置，用于检测动平台的六个自由度的位姿值，同时六个传感器均固定在动平台之外的支架上，动平台只需要安装检测挡板，减轻了动平台的压力，避免对动平台的运动造成干扰；而且传感器具有体积小、安装方便和成本低廉的优点。本发明对柔性并联平台的动平台姿态的检测调整分为宏观位姿检测和微观位姿检测两个部分：宏观位移使得位姿精度控制在十微米范围内，通过六套位姿检测装置测出六自由度平台的实际位姿；微观位姿检测是利用光功率计进行检测调整，通过光功率计来观察透光量的数据，以进行微调。
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公开(公告)号：CN106338250B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201611040387.9
申请日：2016-11-10
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明提供一种用于光电子封装领域的柔性并联平台末端位姿检测系统及方法，该系统包括动平台、定平台、动平台连接件和五套位姿检测装置，五套所述位姿检测装置用于实时检测及控制所述动平台的六个自由度的位姿值。该方法包括宏观位姿检测和微观位姿检测。本发明宏观位姿检测采用五个激光位移传感器对动平台的位姿进行检测，整套检测系统具有体积小、成本低等优点；动平台连接件放置在定平台的下方，两者不接触，不会对动平面的运动造成干扰；有两个激光位移传感器放置在柔性并联平台的外面，不会增加对动平台的压力。微观位姿检测是利用光功率计进行调整，通过光功率计的透光量来进行微调。
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