一种回转壳体谐振子定位对准系统和方法

    公开(公告)号:CN114187361B

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN202111530383.X

    申请日:2021-12-15

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开了一种针对回转壳体谐振子的定位对准系统,包括视觉传感器、图像处理模块、高精度运动平台、可微调装夹装置。所述视觉传感器主要由三个CCD相机组成;所述图像处理模块实现对谐振子图像的预处理、目标基准特征提取等功能;高精度运动平台包括三个互相空间垂直的直线运动平台,一个旋转运动平台,组成四自由度运动平台;可微调装夹装置可实现空间两自由度的旋转角度微调,平面二维的平移距离微调。由以上功能模块组成的定位对准系统解决了回转体壳体谐振子的定位对准问题。本发明也公开了一种基于视觉伺服的对谐振子进行定位对准的方法,在上述系统的基础上,通过控制运动平台与CCD相机协同工作,实现对谐振子相对基准特征偏离值的求解,反馈给可微调装夹装置进行位姿校正,实现快速、便捷、精确地实现对回转壳体谐振子的定位对准。

    一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法

    公开(公告)号:CN115178892A

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN202210853959.4

    申请日:2022-07-13

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明提出一种毫米厚度石英玻璃的高质量切割方法,充分利用飞秒激光可突破衍射极限的指定位置处极小范围进行高精度加工,并具有空间分辨率高等特点,通过控制激光通量和聚焦条件,主要为飞秒激光进给方式、激光功率、扫描速度以及单次进给量,应用优选的工艺参数的飞秒激光对石英玻璃进行改性加工,再结合超声波辅助HF化学溶液对改性后样品进行选择性刻蚀的方法,实现对毫米厚度石英玻璃的高质量切割。该方法适用于厚度≤1000μm的石英玻璃的切割,使得加工后样品的陡直度可达89°以上,接近理想的角度,边缘崩边尺寸小于2μm,断面粗糙度小于0.5μm,该切割方法具有一定的适用性、可重复性,且能保证加工质量的一致性。

    一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法

    公开(公告)号:CN114985908B

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202210818088.2

    申请日:2022-07-13

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法,系统包括:飞秒激光器、光路模块、多轴运动平台、微调装置、机器视觉高倍成像模块、图像处理程序、加工路径规划模块。所述飞秒激光器配合光路模块可实现对微型器件的高精度加工;所述多轴运动平台可承载样品与激光焦点作相对运动,实现复杂轮廓形状的三维加工;所述微调装置可实现微型回转式谐振结构在两个水平方向的距离微调,配合视觉成像模块可实现样品精准定位。本发明也公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工方法,在上述系统的基础上,通过将机器视觉高倍成像模块与图像处理技术应用于飞秒激光加工系统,实现样品与飞秒激光焦点的精准定位,结合自动控制程序为微型回转式谐振结构的高精度加工提供方法,保证了谐振结构加工后的高度三维对称性,具有操作简单,自动化程度高等特点。

    一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法

    公开(公告)号:CN114985908A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210818088.2

    申请日:2022-07-13

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法,系统包括:飞秒激光器、光路模块、多轴运动平台、微调装置、机器视觉高倍成像模块、图像处理程序、加工路径规划模块。所述飞秒激光器配合光路模块可实现对微型器件的高精度加工;所述多轴运动平台可承载样品与激光焦点作相对运动,实现复杂轮廓形状的三维加工;所述微调装置可实现微型回转式谐振结构在两个水平方向的距离微调,配合视觉成像模块可实现样品精准定位。本发明也公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工方法,在上述系统的基础上,通过将机器视觉高倍成像模块与图像处理技术应用于飞秒激光加工系统,实现样品与飞秒激光焦点的精准定位,结合自动控制程序为微型回转式谐振结构的高精度加工提供方法,保证了谐振结构加工后的高度三维对称性,具有操作简单,自动化程度高等特点。

    一种回转壳体谐振子定位对准系统和方法

    公开(公告)号:CN114187361A

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202111530383.X

    申请日:2021-12-15

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开了一种针对回转壳体谐振子的定位对准系统,包括视觉传感器、图像处理模块、高精度运动平台、可微调装夹装置。所述视觉传感器主要由三个CCD相机组成;所述图像处理模块实现对谐振子图像的预处理、目标基准特征提取等功能;高精度运动平台包括三个互相空间垂直的直线运动平台,一个旋转运动平台,组成四自由度运动平台;可微调装夹装置可实现空间两自由度的旋转角度微调,平面二维的平移距离微调。由以上功能模块组成的定位对准系统解决了回转体壳体谐振子的定位对准问题。本发明也公开了一种基于视觉伺服的对谐振子进行定位对准的方法,在上述系统的基础上,通过控制运动平台与CCD相机协同工作,实现对谐振子相对基准特征偏离值的求解,反馈给可微调装夹装置进行位姿校正,实现快速、便捷、精确地实现对回转壳体谐振子的定位对准。

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