一种基于微电极的微流控芯片模内熔融键合方法

    公开(公告)号:CN119388685A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202411984605.9

    申请日:2024-12-31

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明提供了一种基于微电极的微流控芯片模内熔融键合方法,包括:第一模具与第二模具闭合;模具注塑;模具保压并冷却;开模,通过顶出机构将注塑流道顶出;第一模具运动使盖片或基片与第二模具上的基片或盖片对齐;微电极夹持机构抓取微电极并移入模具中,与基片表面高精度对齐;第一模具与第二模具闭合,键合电源通过开关与微电极接触连通,熔融键合;键合电源断电,模具冷却;第一模具与第二模具分开,顶出机构将最终成型并完成键合的微流控芯片从模具中顶出。本发明简化了多个模具或外部作业产生的额外步骤,从而简化了微流体芯片的生产流程;同时键合效率高且键合可靠,显著提升了微流控芯片加工的效率及质量。

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