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公开(公告)号：CN117040245A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311052540.X
申请日：2023-08-21
Applicant: 中南大学
IPC: H02M1/00
Abstract: 本发明提出了一种自适应工艺的中频电源智能控制系统及控制方法，自适应工艺的中频电源智能控制系统包括上位机、中频电源和工艺，其中中频电源内部包括功率模块、控制模块、工艺检测模块和记录模块，自适应工艺的中频电源智能控制方法的具体控制流程为启动工艺、判断是否有待恢复的工艺、检测工艺中断、结束，工艺包括PECVD工艺、PEALD工艺或MPCVD工艺，通过本发明中频电源可匹配工艺自动运行，在工艺中断后可实现从中断点继续运行，实现智能控制，从而提高工艺的可靠性和效率。
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