公开(公告)号：CN119522023A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411499302.8

申请日：2024-10-25

Applicant: 中南大学

Inventor： 张妍 ,  徐倩倩 ,  贾淼 ,  周佩琼 ,  曾瀚民 ,  张斗 ,  周科朝

IPC: H10N30/077 ,  H10N30/853

Abstract: 本发明公开了一种全柔性PZT薄膜的制备方法，包括：(1)在氟金云母基板上均匀沉积LSMO涂层，并使LSMO涂层结晶；(2)在结晶的LSMO涂层上旋涂若干层PZT薄膜层，获得PZT/LSMO/云母产品；(3)在PZT薄膜层上制备柔性支撑层；(4)将产品浸没在刻蚀液中，使LSMO涂层完全溶解，即得全柔性PZT薄膜。本发明还公开了一种全柔性PZT传感器的制备方法，包括：S1、设计叉指电极并在PET基板上打印出叉指电极；S2、将全柔性PZT薄膜转移至PET基板上，然后进行封装、极化，即得全柔性PZT传感器。本发明通过高性价比的转移策略在柔性的PET基板上获得了具有高性能、超灵敏特点的全柔性PZT传感器，不仅提高了钙钛矿结构薄膜优异的电学性能，还表现出了更高的机械柔韧性。