公开(公告)号：CN115792750B

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202310088773.9

申请日：2023-02-09

Applicant: 中北大学 ,  晋城市光机电产业协调服务中心(晋城市光机电产业研究院)

Inventor： 邢恩博 ,  张德炜 ,  戎佳敏 ,  李利 ,  唐军 ,  刘俊

IPC: G01R33/032 ,  G01R33/00

Abstract: 本发明涉及谐振式磁传感器，具体是一种基于片上集成谐振腔的磁传感装置及测量方法。本发明解决了现有谐振式磁传感器灵敏度较低的问题。基于片上集成谐振腔的磁传感装置，包括信号发生器、1550nm激光器、偏振控制器、光纤偏振分束器、单模光纤A、磁传感单元、单模光纤B、光电探测器、频谱仪、微波发生器；所述磁传感单元包括玻璃基片、氮化硅波导耦合芯片、集成耦合波导、钇铁石榴石盘形微腔、集成微波天线、紫外胶水层A、紫外胶水层B、紫外胶水层C；信号发生器的信号输出端与1550nm激光器的电压调谐端连接；1550nm激光器的出射端通过偏振控制器与光纤偏振分束器的入射端连接。本发明适用于磁场的测量。

公开(公告)号：CN115792750A

公开(公告)日：2023-03-14

申请号：CN202310088773.9

申请日：2023-02-09

Applicant: 中北大学 ,  晋城市光机电产业协调服务中心(晋城市光机电产业研究院)

Inventor： 邢恩博 ,  张德炜 ,  戎佳敏 ,  李利 ,  唐军 ,  刘俊

IPC: G01R33/032 ,  G01R33/00

Abstract: 本发明涉及谐振式磁传感器，具体是一种基于片上集成谐振腔的磁传感装置及测量方法。本发明解决了现有谐振式磁传感器灵敏度较低的问题。基于片上集成谐振腔的磁传感装置，包括信号发生器、1550nm激光器、偏振控制器、光纤偏振分束器、单模光纤A、磁传感单元、单模光纤B、光电探测器、频谱仪、微波发生器；所述磁传感单元包括玻璃基片、氮化硅波导耦合芯片、集成耦合波导、钇铁石榴石盘形微腔、集成微波天线、紫外胶水层A、紫外胶水层B、紫外胶水层C；信号发生器的信号输出端与1550nm激光器的电压调谐端连接；1550nm激光器的出射端通过偏振控制器与光纤偏振分束器的入射端连接。本发明适用于磁场的测量。