公开(公告)号：CN115407089A

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202211112416.3

申请日：2022-09-14

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  马宗敏 ,  唐军 ,  温焕飞 ,  石云波 ,  刘晓雅 ,  方向前 ,  温阳 ,  陈纵横

IPC: G01Q60/38

Abstract: 本发明公开了一种原子力探针针尖修正系统，涉及原子力显微镜技术领域，包括：探针偏转检测装置、探针起振压电装置、横纵向力生成装置、针尖模型解析器、探针修正控制器、脉冲冲击修正装置、原子力修正装置、压电扫描器和修正标准装置；待修正探针反射的激光依次经过探针偏转检测装置、探针起振压电装置、横纵向力生成装置和针尖模型解析器，确定针尖附着物的尺寸和方位；探针修正控制器根据针尖附着物的尺寸和方位产生启动信号，通过脉冲冲击修正装置或原子力修正装置，使得针尖附着物从待修正探针上转移到修正标准装置上，实现待修正探针的针尖修正。本发明实现了探针的修正。