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公开(公告)号：CN111189438A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN202010089911.1
申请日：2020-02-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5726 , G01C19/5733
Abstract: 一种光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，包括：键合基板，支撑框架，驱动质量块，检测质量块，中心质量块，驱动组件和检测组件；支撑框架设置在键合基板上，支撑框架内侧面设有驱动座槽和检测座槽，驱动质量块分别设置在驱动座槽内；驱动质量块远离支撑框架中心一侧设置有可动梳齿，驱动座槽内对应可动梳齿的位置设置有固定梳齿，可动梳齿与固定梳齿交叉配合；检测质量块分别设置在检测座槽内，检测质量块上设置有可动光栅；中心质量块设置在支撑框架中心位置，中心质量块通过驱动组件与相邻的检测质量块连接，中心质量块通过检测组件与相邻的驱动质量块连接；键合基板上设置有凹槽，凹槽内两端对应可动光栅的位置对称设置有固定光栅。
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公开(公告)号：CN111504345A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010452408.8
申请日：2020-05-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 一种可调节正交误差的解耦型微机械陀螺结构，包括：支撑框架，驱动框架，传感框架，检测质量块，所述支撑框架用于提供支撑基础；所述驱动框架设置在所述支撑框架内侧，所述驱动框架的边角处通过驱动组件与所述支撑框架连接，所述驱动框架上与驱动方向垂直的外侧边与支撑框架之间设置有梳齿组件；所述传感框架设置在所述驱动框架内侧，所述传感框架以驱动方向为中心对称的两端通过第一传感连接组件与所述驱动框架连接；所述检测质量块设置在所述传感框架内侧，所述检测质量块以驱动方向为中心对称的两端通过第二传感连接组件与所述传感框架连接。
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公开(公告)号：CN111504345B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202010452408.8
申请日：2020-05-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 一种可调节正交误差的解耦型微机械陀螺结构，包括：支撑框架，驱动框架，传感框架，检测质量块，所述支撑框架用于提供支撑基础；所述驱动框架设置在所述支撑框架内侧，所述驱动框架的边角处通过驱动组件与所述支撑框架连接，所述驱动框架上与驱动方向垂直的外侧边与支撑框架之间设置有梳齿组件；所述传感框架设置在所述驱动框架内侧，所述传感框架以驱动方向为中心对称的两端通过第一传感连接组件与所述驱动框架连接；所述检测质量块设置在所述传感框架内侧，所述检测质量块以驱动方向为中心对称的两端通过第二传感连接组件与所述传感框架连接。
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公开(公告)号：CN111076714A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911278476.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，包括：下基板，设置在下基板上的键合框体以及设置在键合框体上的上部支撑框，所述上部支撑框内侧的相对两端分别设置有检测质量块，所述检测质量块两侧通过检测组合梁与所述上部支撑框连接，两个所述检测质量块之间设置有驱动质量块，所述驱动质量块位于上部支撑框中心，所述驱动质量块通过驱动组合梁与所述检测质量块连接。本发明的微机械陀螺仪，其整体结构对称，采用内部驱动带动外部质量块检测，起到正交解耦效果，利用平面线圈动生电动势效应检测微弱柯式力，位移灵敏度高，结构合理、紧凑，抗电磁干扰能力强，且具有噪声小、稳幅驱动的优点。
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公开(公告)号：CN111245295A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010089912.6
申请日：2020-02-13
Applicant: 中北大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 一种电磁振动能量收集器，包括：下基板，所述下基板提供支撑基础；上基板，所述上基板设置在下基板上；所述上基板包括但不限于为方形，所述上基板面向所述下基板一侧具有方形凹槽，所述方形凹槽内设置有磁铁阵列；所述下基板包括：支撑框体、内质量块、蛇形线圈和运动组件，所述内质量块设置在所述支撑框体内侧，所述支撑框体内侧的边角处设置所述运动组件与所述内质量块连接，所述蛇形线圈设置在所述内质量块上。本发明的电磁振动能量收集器，结构紧凑，适合器件的微型化；电磁式振动能量收集器的能量收集效率高、器件的可靠性高和使用寿命长、可批量生产且可与智能控制系统集成，可采用MEMS技术制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110940328A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201911278636.1
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种基于平面线圈面内检测的微陀螺，包括下基板，设置在下基板上的键合框体以及设置在键合框体上的上基板，所述上基板包括:支撑框体、外质量块、内质量块,所述外质量块设置在所述支撑框体内侧，所述内质量块设置在所述外质量块内侧，所述支撑框体内侧的边角处设置有驱动组件与所述外质量块连接，所述外质量块内侧的边角处设置有检测组件与所述内质量块连接，所述内质量块上设置有平面线圈。本发明的微机械陀螺仪，其整体结构对称，利用平面线圈切割磁感线产生电动势效应检测微弱柯式力，输出精度高，结构合理、紧凑，且具有灵敏度高、可靠性好的优点。
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公开(公告)号：CN211085261U
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201922229178.4
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本实用新型公开了一种基于平面线圈面内检测的微陀螺，包括下基板，设置在下基板上的键合框体以及设置在键合框体上的上基板，所述上基板包括:支撑框体、外质量块、内质量块,所述外质量块设置在所述支撑框体内侧，所述内质量块设置在所述外质量块内侧，所述支撑框体内侧的边角处设置有驱动组件与所述外质量块连接，所述外质量块内侧的边角处设置有检测组件与所述内质量块连接，所述内质量块上设置有平面线圈。本实用新型的微机械陀螺仪，其整体结构对称，利用平面线圈切割磁感线产生电动势效应检测微弱柯式力，输出精度高，结构合理、紧凑，且具有灵敏度高、可靠性好的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212585727U
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202020899640.1
申请日：2020-05-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 一种可调节正交误差的解耦型微机械陀螺结构，包括：支撑框架，驱动框架，传感框架，检测质量块，所述支撑框架用于提供支撑基础；所述驱动框架设置在所述支撑框架内侧，所述驱动框架的边角处通过驱动组件与所述支撑框架连接，所述驱动框架上与驱动方向垂直的外侧边与支撑框架之间设置有梳齿组件；所述传感框架设置在所述驱动框架内侧，所述传感框架以驱动方向为中心对称的两端通过第一传感连接组件与所述驱动框架连接；所述检测质量块设置在所述传感框架内侧，所述检测质量块以驱动方向为中心对称的两端通过第二传感连接组件与所述传感框架连接。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211457018U
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN202020165650.2
申请日：2020-02-13
Applicant: 中北大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 一种电磁振动能量收集器，包括：下基板，所述下基板提供支撑基础；上基板，所述上基板设置在下基板上；所述上基板包括但不限于为方形，所述上基板面向所述下基板一侧具有方形凹槽，所述方形凹槽内设置有磁铁阵列；所述下基板包括：支撑框体、内质量块、蛇形线圈和运动组件，所述内质量块设置在所述支撑框体内侧，所述支撑框体内侧的边角处设置所述运动组件与所述内质量块连接，所述蛇形线圈设置在所述内质量块上。本实用新型的电磁振动能量收集器，结构紧凑，适合器件的微型化；电磁式振动能量收集器的能量收集效率高、器件的可靠性高和使用寿命长、可批量生产且可与智能控制系统集成，可采用MEMS技术制备。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212158620U
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202020165659.3
申请日：2020-02-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5726 , G01C19/5733
Abstract: 一种光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，包括：键合基板，支撑框架，驱动质量块，检测质量块，中心质量块，驱动组件和检测组件；支撑框架设置在键合基板上，支撑框架内侧面设有驱动座槽和检测座槽，驱动质量块分别设置在驱动座槽内；驱动质量块远离支撑框架中心一侧设置有可动梳齿，驱动座槽内对应可动梳齿的位置设置有固定梳齿，可动梳齿与固定梳齿交叉配合；检测质量块分别设置在检测座槽内，检测质量块上设置有可动光栅；中心质量块设置在支撑框架中心位置，中心质量块通过驱动组件与相邻的检测质量块连接，中心质量块通过检测组件与相邻的驱动质量块连接；键合基板上设置有凹槽，凹槽内两端对应可动光栅的位置对称设置有固定光栅。
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