公开(公告)号：CN103592466B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201310637072.2

申请日：2013-12-03

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  丑修建 ,  赵赟 ,  薛彦辉 ,  于春华

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术，具体是一种自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置。本发明解决了现有MEMS加速度传感器静态标定测试设备标定校准耗时多、标定校准效率低、以及标定校准能力有限的问题。自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置，包括自动加载平台、反馈式自动翻滚平台、控制系统、数据采集系统；所述自动加载平台包括竖直加载平台、水平加载平台、槽型底座；所述竖直加载平台包括左竖直电机、左竖直丝杠副、左竖直导轨副、左L型底板、右竖直电机、右竖直丝杠副、右竖直导轨副、右L型底板；所述反馈式自动翻滚平台包括半封闭槽型载台、倾角传感器。本发明适用于MEMS加速度传感器的标定校准。

公开(公告)号：CN103592466A

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN201310637072.2

申请日：2013-12-03

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  丑修建 ,  赵赟 ,  薛彦辉 ,  于春华

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术，具体是一种自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置。本发明解决了现有MEMS加速度传感器静态标定测试设备标定校准耗时多、标定校准效率低、以及标定校准能力有限的问题。自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置，包括自动加载平台、反馈式自动翻滚平台、控制系统、数据采集系统；所述自动加载平台包括竖直加载平台、水平加载平台、槽型底座；所述竖直加载平台包括左竖直电机、左竖直丝杠副、左竖直导轨副、左L型底板、右竖直电机、右竖直丝杠副、右竖直导轨副、右L型底板；所述反馈式自动翻滚平台包括半封闭槽型载台、倾角传感器。本发明适用于MEMS加速度传感器的标定校准。