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公开(公告)号：CN118032787A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410286931.6
申请日：2024-03-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于分焦面偏振成像及缺陷检测技术领域，具体涉及一种基于偏振成像的高反光金属表面缺陷检测装置及方法，包括USB信号传输接口、分焦面偏振探测器、放大光学显微镜镜头、多波长环形照明光源、高精度载物二维位移平台、高反光金属缺陷样品、环形光源驱动控制器、显微镜支架和计算机。本发明利用散射偏振成像技术，获得滤除杂散光后的偏振图像。通过对亮部失真部分进行降饱和，获得初步滤光降曝光的图像。进一步利用环形光源进行暗场成像，获得整个镜面金属的暗场图像，获得进一步的降曝图像，经过两步降曝过程得到少曝光或无曝光图像，为下一步的数据处理提供真实完善的细节和纹理的图像。
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