公开(公告)号：CN114894311B

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202210296662.2

申请日：2022-03-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 薛鹏 ,  谢大洋 ,  张瑞 ,  刘政杰 ,  李孟委

IPC: G01J3/447

Abstract: 本发明属于广义椭偏仪技术领域，具体涉及一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，包括高波段测量系统、样品和低波段测量系统，所述低波段测量系统包括起偏臂一和检偏臂一，所述样品设置在起偏臂一的光路方向上，所述检偏臂一设置在样品的透射光路方向上，所述高波段测量系统包括起偏臂二和检偏臂二，所述样品设置在起偏臂二的光路方向上，所述检偏臂二设置在样品的反射光路方向上。本发明使用两个系统去单次完成整个宽光谱范围的测量，只需要将整个宽谱段进行合理的分解，使得每个分解出来的谱段能在单独的系统中完成测量即可，通过本发明结构所设计出的广义椭偏仪单次可测得的光谱范围可以比现有的广义椭偏仪的单次可测得的光谱范围都宽。

公开(公告)号：CN114894311A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202210296662.2

申请日：2022-03-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 薛鹏 ,  谢大洋 ,  张瑞 ,  刘政杰 ,  李孟委

IPC: G01J3/447

Abstract: 本发明属于广义椭偏仪技术领域，具体涉及一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，包括高波段测量系统、样品和低波段测量系统，所述低波段测量系统包括起偏臂一和检偏臂一，所述样品设置在起偏臂一的光路方向上，所述检偏臂一设置在样品的透射光路方向上，所述高波段测量系统包括起偏臂二和检偏臂二，所述样品设置在起偏臂二的光路方向上，所述检偏臂二设置在样品的反射光路方向上。本发明使用两个系统去单次完成整个宽光谱范围的测量，只需要将整个宽谱段进行合理的分解，使得每个分解出来的谱段能在单独的系统中完成测量即可，通过本发明结构所设计出的广义椭偏仪单次可测得的光谱范围可以比现有的广义椭偏仪的单次可测得的光谱范围都宽。