公开(公告)号：CN103592468A

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN201310571038.X

申请日：2013-11-16

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  马宗敏 ,  薛慧 ,  唐军 ,  石云波 ,  李艳君 ,  薛晨阳 ,  杨玉华 ,  张欢

IPC: G01Q60/52

Abstract: 本发明涉及磁性材料表面信息测量工具，具体是一种铁磁共振磁交换力显微镜测试系统。本发明解决了现有磁性材料表面信息测量工具应用范围受限、测量精确性差、以及无法直接区分表面形貌信息和表面自旋磁信息的问题。铁磁共振磁交换力显微镜测试系统，包括非接触式原子力显微镜系统、微波发生器、载波器、锁相放大器、微波照射机构；所述非接触式原子力显微镜系统包括扫描器、磁性探针、激光器、四象限光电二极管探测器、锁相环、自动增益回路、压电体、反馈回路；其中，微波发生器的信号输入端与载波器的信号输出端连接；载波器的信号输入端与锁相放大器的信号输出端连接。本发明适用于磁性材料表面信息测量。