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公开(公告)号：CN107449423A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710752877.X
申请日：2017-08-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C21/16 , G01C19/5656 , G01B11/02 , G01P15/18 , G01P15/14
CPC classification number: G01C21/16 , G01B11/02 , G01C19/5656 , G01P15/14 , G01P15/18
Abstract: 纳米光栅离心式三轴MEMS惯组装置，主要结构包括上基板、动光栅层、定光栅层、下基板、光电探测器、检测梁、联接块、质量块、动光栅、凸台、激光光源、导线组成，上基板内设置光电探测器、导线，动光栅层设置支撑框架、中央设有动光栅的质量块、检测梁、联接块，定光栅层设置定光栅，下基板内设置激光光源、导线，此装置无需驱动，该惯组装置具有量程大、结构简单、正交耦合误差小、横向误差小的优点。
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公开(公告)号：CN107462235A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201710752880.1
申请日：2017-08-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/574
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 一种基于莫尔条纹检测的离心式三轴角速率传感器，主要结构包括上基板、定光栅层、敏感机构、下基板，上基板设置有四个光电探测阵列，敏感机构包括支撑框体、检测梁、连接梁、质量块、动光栅，定光栅层设置有四个定光栅，下基板设置有四个激光光源，质量块上设置动光栅，此装置结构无需驱动电路，采用离心力驱动质量块产生微位移，采用光学莫尔条纹检测微位移，结构合理紧凑，检测方便，检测精度高，灵敏度高，分辨率高，无正交误差、偏移输出等问题，测量精度较现有技术可提高一个数量级别，检测数据翔实、准确，可靠性好。
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公开(公告)号：CN107449411A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710752116.4
申请日：2017-08-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01B11/02
CPC classification number: G01C19/5656 , G01B11/02
Abstract: 一种纳米光栅非谐振式三轴角速率传感器，主要结构包括上基板、动光栅层、定光栅层、下基板、光电探测器、检测梁、联接块、质量块、动光栅、凸台、激光光源、导线组成，上基板内设置4个光电探测器、导线，动光栅层设置支撑框架、带有动光栅的质量块、检测梁、联接块，定光栅层设置4个定光栅，下基板内设置4个激光光源、导线，此装置无需驱动，该角速率传感器具有量程大、结构简单、正交耦合误差小、受外界冲击或振动影响小的优点。
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公开(公告)号：CN107449409A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710752191.0
申请日：2017-08-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56
Abstract: 一种纳米光栅自解耦微陀螺装置，主要结构包括下基板、键合框体、上基板、驱动磁体、检测磁体、定光栅、驱动质量块、检测质量块、弹性梁、动光栅组成，下基板对称设置矩形驱动磁体、检测磁体、2个定光栅，键合框体固定连接上基板和下基板，上基板设置驱动机构、检测机构、驱动质量块、检测质量块，检测质量块中心设置可动光栅，此装置结构新颖可起到自解耦效果，利用纳米光栅矢量光学效应检测微弱柯式力，具有灵敏度高、精度高、噪声小、不受温度影响，检测数据准确、可靠性好。
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公开(公告)号：CN107449415A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710752893.9
申请日：2017-08-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5733
CPC classification number: G01C19/5733
Abstract: 一种纳米光栅微机械陀螺，主要结构由上基板、键合框体、下基板、支撑框体、外质量块、内质量块、驱动机构、检测机构、动光栅、驱动磁体、检测磁体、定光栅组成,上基板设置支撑框体、内质量块、外质量块、驱动机构、检测机构、内质量块中央设有可动光栅，键合框体体固定连接下基板和上基板，下基板上对称设置驱动磁体、检测磁体、定光栅，下基板中央设有固定光栅，此装置整体结构对称，利用光学效应检测微弱柯式力，检测精度高，结构合理、紧凑，且具有灵敏度高、可靠性好的优势，其检测精度比现有技术提高一到两个数量级。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107449412A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710777025.6
申请日：2017-09-01
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01B11/02
CPC classification number: G01C19/5656 , G01B11/02
Abstract: 一种基于莫尔条纹检测的自解耦微陀螺装置，主要结构包括下基板、键合框体、上基板、驱动磁体、检测磁体、定光栅、驱动质量块、检测质量块、弹性梁、动光栅组成，下基板对称设置矩形驱动磁体、检测磁体、2个定光栅，键合框体固定连接上基板和下基板，上基板设置驱动机构、检测机构、驱动质量块、检测质量块，检测质量块中心设置可动光栅，此装置结构新颖可起到自解耦效果，利用莫尔条纹检测微弱柯式力，具有灵敏度高、精度高、噪声小、不受温度影响，检测数据准确、可靠性好。
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公开(公告)号：CN207095570U
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201721085539.7
申请日：2017-08-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01B11/02
Abstract: 一种纳米光栅非谐振式三轴角速率传感器，主要结构包括上基板、动光栅层、定光栅层、下基板、光电探测器、检测梁、联接块、质量块、动光栅、凸台、激光光源、导线组成，上基板内设置4个光电探测器、导线，动光栅层设置支撑框架、带有动光栅的质量块、检测梁、联接块，定光栅层设置4个定光栅，下基板内设置4个激光光源、导线，此装置无需驱动，该角速率传感器具有量程大、结构简单、正交耦合误差小、受外界冲击或振动影响小的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207197535U
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201721084969.7
申请日：2017-08-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5733
Abstract: 一种纳米光栅微机械陀螺，主要结构由上基板、键合框体、下基板、支撑框体、外质量块、内质量块、驱动机构、检测机构、动光栅、驱动磁体、检测磁体、定光栅组成,上基板设置支撑框体、内质量块、外质量块、驱动机构、检测机构、内质量块中央设有可动光栅，键合框体体固定连接下基板和上基板，下基板上对称设置驱动磁体、检测磁体、定光栅，下基板中央设有固定光栅，此装置整体结构对称，利用光学效应检测微弱柯式力，检测精度高，结构合理、紧凑，且具有灵敏度高、可靠性好的优势，其检测精度比现有技术提高一到两个数量级。
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公开(公告)号：CN207095577U
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201721085543.3
申请日：2017-08-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C21/16 , G01C19/5656 , G01B11/02 , G01P15/18 , G01P15/14
Abstract: 纳米光栅离心式三轴MEMS惯组装置，主要结构包括上基板、动光栅层、定光栅层、下基板、光电探测器、检测梁、联接块、质量块、动光栅、凸台、激光光源、导线组成，上基板内设置光电探测器、导线，动光栅层设置支撑框架、中央设有动光栅的质量块、检测梁、联接块，定光栅层设置定光栅，下基板内设置激光光源、导线，此装置无需驱动，该惯组装置具有量程大、结构简单、正交耦合误差小、横向误差小的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207866262U
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201721084955.5
申请日：2017-08-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 一种纳米光栅自解耦微陀螺装置，主要结构包括下基板、键合框体、上基板、驱动磁体、检测磁体、定光栅、驱动质量块、检测质量块、弹性梁、动光栅组成，下基板对称设置矩形驱动磁体、检测磁体、2个定光栅，键合框体固定连接上基板和下基板，上基板设置驱动机构、检测机构、驱动质量块、检测质量块，检测质量块中心设置可动光栅，此装置结构新颖可起到自解耦效果，利用纳米光栅矢量光学效应检测微弱柯式力，具有灵敏度高、精度高、噪声小、不受温度影响，检测数据准确、可靠性好。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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