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公开(公告)号：CN102909645B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201210416459.0
申请日：2012-10-27
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种珩磨装置，特别是公开了一种立式超声外圆珩磨装置，包括浮动机构、集流装置和珩磨头体，浮动机构包括设置在顶杆外侧的固定环，浮动机构内设置有滑动套，滑动套位于固定环的外侧且滑动套与固定环之间安装有直线轴承，滑动套外侧设置有上拉弹簧，珩磨头体包括珩磨头内体和珩磨头外体，珩磨头外体内底部与珩磨头内体外底部之间设有环楔套，环楔套内嵌装有压电晶片组，珩磨头内体下部的内壁上均匀固定有多个油石座，单个油石座均固定有油石条；本发明为能使油石径向（横向）振动的立式珩磨外圆装置，使超声能量传动链变短，更换油石条快捷，特别适用于直径较小的圆柱体的加工，并且能在圆柱体表面形成交叉网纹。
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公开(公告)号：CN102909645A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210416459.0
申请日：2012-10-27
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种珩磨装置，特别是公开了一种立式超声外圆珩磨装置，包括浮动机构、集流装置和珩磨头体，浮动机构包括设置在顶杆外侧的固定环，浮动机构内设置有滑动套，滑动套位于固定环的外侧且滑动套与固定环之间安装有直线轴承，滑动套外侧设置有上拉弹簧，珩磨头体包括珩磨头内体和珩磨头外体，珩磨头外体内底部与珩磨头内体外底部之间设有环楔套，环楔套内嵌装有压电晶片组，珩磨头内体下部的内壁上均匀固定有多个油石座，单个油石座均固定有油石条；本发明为能使油石径向（横向）振动的立式珩磨外圆装置，使超声能量传动链变短，更换油石条快捷，特别适用于直径较小的圆柱体的加工，并且能在圆柱体表面形成交叉网纹。
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公开(公告)号：CN101590999B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200910074573.8
申请日：2009-06-26
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/083
Abstract: 本发明涉及微执行器驱动构件，具体是基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件。解决了现有微执行器驱动构件存在的响应速度慢、驱动位移小等问题，步骤：①配制铅基反铁电材料前躯体溶胶、PbO溶胶；②在支撑基底Pt金属层上制得铅基反铁电材料厚膜；③在铅基反铁电材料厚膜上旋涂PbO溶胶，退火处理；④在铅基反铁电材料厚膜上溅射作为上电极的金属层、以及压焊点；⑤对支撑基底背面腐蚀，减薄支撑基底中部厚度；对铅基反铁电材料厚膜、支撑基底中部正面刻蚀，形成外围基座、与外围基座单端相连的悬臂梁结构。工艺、结构简单，实现了反铁电材料在微执行器驱动构件领域的应用，为实现快速响应、大位移量微驱动构件设计和制造提供了全新思路。
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公开(公告)号：CN101590999A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200910074573.8
申请日：2009-06-26
Applicant: 中北大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及微执行器驱动构件，具体是基于反铁电厚膜场致相变应变效应的微悬臂梁驱动构件。解决了现有微执行器驱动构件存在的响应速度慢、驱动位移小等问题，步骤：①配制铅基反铁电材料前躯体溶胶、PbO溶胶；②在支撑基底Pt金属层上制得铅基反铁电材料厚膜；③在铅基反铁电材料厚膜上旋涂PbO溶胶，退火处理；④在铅基反铁电材料厚膜上溅射作为上电极的金属层、以及压焊点；⑤对支撑基底背面腐蚀，减薄支撑基底中部厚度；对铅基反铁电材料厚膜、支撑基底中部正面刻蚀，形成外围基座、与外围基座单端相连的悬臂梁结构。工艺、结构简单，实现了反铁电材料在微执行器驱动构件领域的应用，为实现快速响应、大位移量微驱动构件设计和制造提供了全新思路。
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