公开(公告)号：CN103557926B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201310512040.X

申请日：2013-10-26

Applicant: 中北大学

Inventor： 张国军 ,  何常德 ,  刘梦然 ,  简泽明 ,  赵鹏 ,  王雁 ,  韩建军 ,  徐伟 ,  丁俊文 ,  杨晟辉 ,  尚珍珍

IPC: G01H3/04

Abstract: 本发明为一种基于丁腈橡胶帽封装的高灵敏度宽量程仿生水听器，解决了现有封装结构对水听器灵敏度损失严重的问题。本发明包括内置信号处理电路板金属管壳，金属管壳顶部延设有缩径管壳，缩径管壳顶部接待注油孔的支撑圆盘，支撑圆盘上安装有硬支架，硬支架上固定带敏感柱体的四梁敏感微结构，支撑圆盘上设有由丁腈橡胶制作而成的透声帽。本发明针对现有MEMS矢量水听器的封装结构，从透声帽材料、水听器尺寸等方面进行了改进。选用丁腈橡胶材料，在不影响矢量水听器指向性的情况下，提高了水听器的灵敏度，拓宽了水听器频带，并使水听器的封装进一步小型化，具有良好应用前景。