公开(公告)号：CN103000981B

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201210463302.3

申请日：2012-11-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 段俊萍 ,  王万军 ,  张安学 ,  张斌珍 ,  吴淑娟 ,  张勇 ,  王研 ,  姚德启 ,  崔敏 ,  王春水

IPC: H01P11/00 ,  H01P1/208

Abstract: 本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为辅助材料，使用电镀金属材料作为结构材料，并配合不同图案的掩膜板，采用多层匀胶、逐层光刻并显影、电镀、最终剥离固化的光刻胶的技术，可以精确构造出腔体滤波器复杂的三维金属结构。利用弹性优异的柔性材料PDMS对其进行翻模，构造模具，再对模具进行注塑固化，可以对腔体结构及盖板结构进行快速精确复制，最后将二者进行键合封装，即得到完整的毫米波腔体滤波器。本发明方法制得的滤波器体积轻巧、精度高、频率高、频带宽、信号容量大，且该滤波器腔体为一体化设置，避免了组装带来的误差，提高了滤波器的性能。本发明制作方法具有工艺简单、制作精度高等优点。

公开(公告)号：CN102998242A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201210482142.7

申请日：2012-11-25

Applicant: 中北大学

Inventor： 王万军 ,  杨潞霞 ,  段俊萍 ,  张斌珍 ,  王春水 ,  郝晓剑 ,  张勇 ,  范新磊 ,  李向红 ,  邵国成

IPC: G01N15/14

Abstract: 本发明涉及医学检测领域，具体为一种微流体细胞仪及制作方法。解决了目前传统的血细胞仪体积庞大、价格昂贵，特别是互染率高的技术问题。一种微流体细胞仪，主要包括微流体芯片和特制的外部检测部件，所述微流体芯片上设有样本通道、聚焦检测通道和鞘流储液池；样本通道集成有对待测细胞液进行浓缩处理的样本预处理区域和缓冲区域；所述样本预处理区域设有微柱阵列。一种微流体细胞仪的制作方法，包括以下步骤：微流体沟道的制作、微流体芯片的盖片制作以及键合。本发明所述产品整体呈微型化，成本低廉，能够在芯片内部实现对待测细胞液的浓缩处理，且为一次性使用，针对每一个样本进行一次测量，彻底避免了样本之间相互影响的问题。

公开(公告)号：CN102435376A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110324730.3

申请日：2011-10-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 张斌珍 ,  杨玉华 ,  王春水 ,  刘建林 ,  姚德启

IPC: G01L5/16 ,  G01L1/22

Abstract: 本发明公开了一种基于柔性导电橡胶的柔性三维力传感器并提出了制作方法。柔性三维力传感器的基体为柔性导电橡胶，中间由四层微电极和导线阵列组成，并且每一层的导线都外接信号处理电路，通过检测电阻值的变化从而测得三维力的大小。柔性三维力传感器的关键是微电极和导线的制作，本专利采用了基于SU-8+PDMS的UV-LIGA工艺制作微电极和导线阵列。然后，把制作好的微电极和导线阵列放入传感器的模腔中，注入液态柔性导电橡胶。最后，经过一段时间的冷却固化，即可制作出了柔性三维力传感器。由于微电极的间距小，大大提高了传感器的灵敏度和精度，并可以批量化生产传感器。

公开(公告)号：CN103000981A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201210463302.3

申请日：2012-11-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 王万军 ,  段俊萍 ,  张斌珍 ,  张安学 ,  吴淑娟 ,  张勇 ,  王研 ,  姚德启 ,  崔敏 ,  王春水

IPC: H01P11/00 ,  H01P1/208

Abstract: 本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为辅助材料，使用电镀金属材料作为结构材料，并配合不同图案的掩膜板，采用多层匀胶、逐层光刻并显影、电镀、最终剥离固化的光刻胶的技术，可以精确构造出腔体滤波器复杂的三维金属结构。利用弹性优异的柔性材料PDMS对其进行翻模，构造模具，再对模具进行注塑固化，可以对腔体结构及盖板结构进行快速精确复制，最后将二者进行键合封装，即得到完整的毫米波腔体滤波器。本发明方法制得的滤波器体积轻巧、精度高、频率高、频带宽、信号容量大，且该滤波器腔体为一体化设置，避免了组装带来的误差，提高了滤波器的性能。本发明制作方法具有工艺简单、制作精度高等优点。

公开(公告)号：CN102998242B

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201210482142.7

申请日：2012-11-25

Applicant: 中北大学

Inventor： 王万军 ,  杨潞霞 ,  段俊萍 ,  张斌珍 ,  王春水 ,  郝晓剑 ,  张勇 ,  范新磊 ,  李向红 ,  邵国成

IPC: G01N15/14

Abstract: 本发明涉及医学检测领域，具体为一种微流体细胞仪及制作方法。解决了目前传统的血细胞仪体积庞大、价格昂贵，特别是互染率高的技术问题。一种微流体细胞仪，主要包括微流体芯片和特制的外部检测部件，所述微流体芯片上设有样本通道、聚焦检测通道和鞘流储液池；样本通道集成有对待测细胞液进行浓缩处理的样本预处理区域和缓冲区域；所述样本预处理区域设有微柱阵列。一种微流体细胞仪的制作方法，包括以下步骤：微流体沟道的制作、微流体芯片的盖片制作以及键合。本发明所述产品整体呈微型化，成本低廉，能够在芯片内部实现对待测细胞液的浓缩处理，且为一次性使用，针对每一个样本进行一次测量，彻底避免了样本之间相互影响的问题。