公开(公告)号：CN106862045A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201710009233.1

申请日：2017-01-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 何常德 ,  张斌珍 ,  奚水 ,  高文友 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  梁伟健

IPC: B06B1/02

CPC classification number: B06B1/0292

Abstract: 本发明公开了一种收发性能平衡的微机电超声换能器面阵探头，包括硅衬底（1），所述硅衬底（1）的上表面为氧化层（2），所述氧化层（2）的上表面开设有若干空腔（3），所述氧化层（2）的上表面键合振动薄膜（4），所述振动薄膜（4）的上表面设隔离层（5），围绕隔离层（5）的四周边缘处及其内部开设有下沉的隔离槽（6），所述隔离槽（6）贯穿隔离层（5）和振动薄膜（4）后，其槽底开设于氧化层（2）上；所述隔离层（5）的上表面上正对每个空腔（3）的中心位置处设有上电极（7）。本发明超声探头结构新颖、体积小、频带宽、灵敏度高，噪声低，稳定性好，收发性能平衡。