公开(公告)号：CN103616739B

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201310668106.4

申请日：2013-12-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 唐军 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  张斌珍 ,  闫树斌 ,  商成龙 ,  段俊萍 ,  张天恩 ,  雷龙海 ,  谢成峰 ,  毛静 ,  李惠琴

IPC: G02B5/00 ,  G03F7/20 ,  G02B6/26

Abstract: 本发明为一种圆片级聚合物光学微球腔的集成制造方法，解决了现有工艺过程繁琐、不能大面积有序可控制造、光学性能不突出的问题。本发明方法包括如下步骤：在圆形基片上制作圆柱基底；清洗基底，烘干；向圆柱基底上喷射NOA73光学胶；再经过曝光便可得到固化的NOA73光学微球腔；最后把锥形光纤与微球腔进行耦合，用AB胶把锥形光纤固定在两侧的圆柱基底上，便得到了光学微球腔的集成结构。本发明制得的NOA73光学微球腔具有成本低、制作过程简单、微球腔的大小可控以及光学性能优异等特点，并且最后和锥形光纤加以集成，得到了集成的光学微球腔结构。

公开(公告)号：CN103616739A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201310668106.4

申请日：2013-12-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 唐军 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  张斌珍 ,  闫树斌 ,  商成龙 ,  段俊萍 ,  张天恩 ,  雷龙海 ,  谢成峰 ,  毛静 ,  李惠琴

IPC: G02B5/00 ,  G03F7/20 ,  G02B6/26

Abstract: 本发明为一种圆片级聚合物光学微球腔的集成制造方法，解决了现有工艺过程繁琐、不能大面积有序可控制造、光学性能不突出的问题。本发明方法包括如下步骤：在圆形基片上制作圆柱基底；清洗基底，烘干；向圆柱基底上喷射NOA73光学胶；再经过曝光便可得到固化的NOA73光学微球腔；最后把锥形光纤与微球腔进行耦合，用AB胶把锥形光纤固定在两侧的圆柱基底上，便得到了光学微球腔的集成结构。本发明制得的NOA73光学微球腔具有成本低、制作过程简单、微球腔的大小可控以及光学性能优异等特点，并且最后和锥形光纤加以集成，得到了集成的光学微球腔结构。