公开(公告)号：CN115183895A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210514412.1

申请日：2022-05-12

Applicant: 中北大学

Inventor： 王俊强 ,  吕晓霖 ,  李孟委

IPC: G01K7/02 ,  G01K1/08

Abstract: 本发明属于温度测量热电偶领域，具体涉及一种高响应耐高温薄膜热电偶，所述封装管帽固定在封装管座上，所述封装管帽为中空结构且顶部多孔，所述封装管帽的内部设置有衬底，所述衬底固定在封装管座上，所述衬底上设置有下层保护层，所述上下层保护层之间分别设置有宽带石墨烯、窄带石墨烯和金属电极，所述宽带石墨烯、窄带石墨烯分别连接有金属电极。本发明在原有两种材料制作的热电偶基础上，减少了两种材料两种制作步骤的繁琐，利用包含具有优良特性的新材料石墨烯，通过桥路，大大的提高了热电偶的灵敏度，并且由于石墨烯材料的高热导率，有效的提高了器件的响应速度，应用于温度检测，是一种十分理想的高响应耐高温单材料热电偶。

公开(公告)号：CN113093819A

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN202110342192.4

申请日：2021-03-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 王俊强 ,  吕晓霖 ,  刘丽丽 ,  李孟委

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明属于气体流量检测技术领域，具体涉及一种高精度微型气体流量控制器，所述封装管帽固定在封装管壳上，所述封装管帽为中空结构，所述封装管帽的一端设有进气口，所述封装管帽的另一端设有出气口，所述封装管帽的内部设置有硅衬底，所述硅衬底固定在封装管壳上，所述硅衬底上设置有绝缘层，所述绝缘层和保护膜之间分别设置有温敏元件、加热元件和金属电极，所述温敏元件、加热元件分别连接有金属电极。本发明利用包含具有优良特性的新材料石墨烯，通过内部桥路，大大的提高了热式传感器的灵敏度，并且由于石墨烯材料的高热导率，有效的提高了器件的响应速度，可应用于微量气体流量范围检测，实现对气体流量的控制。