一种高密度柔性微纳线圈的可控剥离制备方法

    公开(公告)号:CN117012541B

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311264390.9

    申请日:2023-09-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于电感、线圈技术领域,尤其涉及一种高密度柔性微纳线圈的可控剥离制备方法,解决了背景技术中的技术问题,其包括准备刚性硅基底并在上表面粘贴聚酰亚胺胶带,在聚酰亚胺胶带上制作单层MEMS微纳线圈,之后旋涂光敏性聚酰亚胺膜;重复制作线圈以及旋涂光敏性聚酰亚胺膜,直至线圈的总层数达到要求;最终在最顶层旋涂作为应力绝缘层的光敏性聚酰亚胺膜进行封装;将成品整体浸泡于丙酮溶液,一定时间后将多层微纳线圈整体从刚性硅基底上剥离,得到柔性微纳线圈。聚酰亚胺胶带下表面的聚氨酯胶与有机溶剂丙酮发生反应,减少胶带的粘附力,应力绝缘层的张应力驱动膜层结构产生

    一种叠层滑轨式振动能量采集器

    公开(公告)号:CN116566159A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310840865.8

    申请日:2023-07-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于发电技术领域,尤其涉及一种叠层滑轨式振动能量采集器,解决了背景技术中的技术问题,其包括多个相连的能量采集单元;能量采集单元包括第一半圆筒、第二半圆筒、第三半圆筒、上端盖和下端盖,第一半圆筒、第二半圆筒拼接成圆筒结构;第二半圆筒开有滑槽,第三半圆筒设有与滑槽滑动配合的限位卡块,第一半圆筒上设置有多个线圈插槽,第三半圆筒上设置有多个磁铁插槽,相邻滑动磁铁的同极相对,上、下端盖连接至圆筒结构的两端,第一半圆筒底部设有卡环,卡环与下端盖间设有固定磁铁。该结构叠层式集成化设计,形成多个滑动磁铁‑线圈发电单元,提升了输出功率,变频调整可使能量采集单元与外部工作环境发生共振以达到最大输出。

    一种高密度柔性微纳线圈的可控剥离制备方法

    公开(公告)号:CN117012541A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202311264390.9

    申请日:2023-09-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于电感、线圈技术领域,尤其涉及一种高密度柔性微纳线圈的可控剥离制备方法,解决了背景技术中的技术问题,其包括准备刚性硅基底并在上表面粘贴聚酰亚胺胶带,在聚酰亚胺胶带上制作单层MEMS微纳线圈,之后旋涂光敏性聚酰亚胺膜;重复制作线圈以及旋涂光敏性聚酰亚胺膜,直至线圈的总层数达到要求;最终在最顶层旋涂作为应力绝缘层的光敏性聚酰亚胺膜进行封装;将成品整体浸泡于丙酮溶液,一定时间后将多层微纳线圈整体从刚性硅基底上剥离,得到柔性微纳线圈。聚酰亚胺胶带下表面的聚氨酯胶与有机溶剂丙酮发生反应,减少胶带的粘附力,应力绝缘层的张应力驱动膜层结构产生劈裂断口促进可控剥离,最终达到可控剥离的效果。

    一种叠层滑轨式振动能量采集器

    公开(公告)号:CN116566159B

    公开(公告)日:2023-09-15

    申请号:CN202310840865.8

    申请日:2023-07-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于发电技术领域,尤其涉及一种叠层滑轨式振动能量采集器,解决了背景技术中的技术问题,其包括多个相连的能量采集单元;能量采集单元包括第一半圆筒、第二半圆筒、第三半圆筒、上端盖和下端盖,第一半圆筒、第二半圆筒拼接成圆筒结构;第二半圆筒开有滑槽,第三半圆筒设有与滑槽滑动配合的限位卡块,第一半圆筒上设置有多个线圈插槽,第三半圆筒上设置有多个磁铁插槽,相邻滑动磁铁的同极相对,上、下端盖连接至圆筒结构的两端,第一半圆筒底部设有卡环,卡环与下端盖间设有固定磁铁。该结构叠层式集成化设计,形成多个滑动磁铁‑线圈发电单元,提升了输出功率,变频调整可使能量采集单元与外部工作环境发生共振以达到最大输出。

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