一种兼具大量程和高精度的双环式微机械陀螺结构

    公开(公告)号:CN112857351B

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202110403924.6

    申请日:2021-04-15

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明具体是一种兼具大量程和高精度的双环式微机械陀螺结构。解决了现有微机械振动陀螺无法兼具大量程和高精度的问题。一种兼具大量程和高精度的双环式微机械陀螺结构,包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分;所述谐振子部分包括圆环状内层谐振质量、圆环状外层谐振质量、圆柱状中心锚点、八个块状外围锚点、八根轮辐状内侧弹性支撑悬梁、八根轮辐状外侧弹性支撑悬梁;所述电极部分包括四个弧形内层驱动模态位移测量电极、四个弧形外层驱动模态位移测量电极、四个弧形内层检测模态位移测量电极、四个弧形外层检测模态位移测量电极、八对弧形内层控制电极、八对弧形外层控制电极。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

    一种兼具大量程和高精度的双环式微机械陀螺结构

    公开(公告)号:CN112857351A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110403924.6

    申请日:2021-04-15

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明具体是一种兼具大量程和高精度的双环式微机械陀螺结构。解决了现有微机械振动陀螺无法兼具大量程和高精度的问题。一种兼具大量程和高精度的双环式微机械陀螺结构,包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分;所述谐振子部分包括圆环状内层谐振质量、圆环状外层谐振质量、圆柱状中心锚点、八个块状外围锚点、八根轮辐状内侧弹性支撑悬梁、八根轮辐状外侧弹性支撑悬梁;所述电极部分包括四个弧形内层驱动模态位移测量电极、四个弧形外层驱动模态位移测量电极、四个弧形内层检测模态位移测量电极、四个弧形外层检测模态位移测量电极、八对弧形内层控制电极、八对弧形外层控制电极。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

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