公开(公告)号：CN113109858A

公开(公告)日：2021-07-13

申请号：CN202110393624.4

申请日：2021-04-13

Applicant: 中北大学

Inventor： 马宗敏 ,  刘俊 ,  唐军 ,  石云波 ,  薛锦龙 ,  牛刘敏 ,  郭浩 ,  刘永婷 ,  侯青峰

IPC: G01T1/29 ,  G01T1/202

Abstract: 本发明公开了一种高度集成的γ辐照探测器，主要解决现有γ探测器不耐辐照以及无法在范围很广的γ剂量率下实时监测的问题。该探测器包含金刚石探头、放大模块、A/D转化模块、DDR存储器、FPGA、上位机。金刚石探头1是在250um厚且电阻率为0.01～0.05Ωcm2的掺硼硅片上生长了30um的多晶金刚石之后，再在多晶金刚石上利用磁控溅射器溅射了20nm的Cr和100nm的Au。金刚石探头2是在一片300um厚的电子级单晶金刚石正反两面利用磁控溅射器分别溅射了20nm的Pd，10nm的Ti和150nm的Au。两种探头都在真空下进行高温退火，以便形成良好的欧姆接触。本发明基于金刚石的优越性能具有良好的抗辐照性，且在剂量率为1mGy/h～1MGy/h下能够正常工作。