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公开(公告)号:CN1782873A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200510125866.6
申请日:2005-11-30
Applicant: 东进世美肯株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/029 , G03F7/033
Abstract: 本发明涉及一种感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜,特别是包含碱性可溶性丙烯酸酯树脂、具备至少2个乙烯双键的交联单体、氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂的感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜。本发明感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜,可在激光的直接曝光下形成图像,易于形成高集成度细微图像,具有良好的光敏度和分辨率,并对基板具有优秀的粘附特性。