一种变速率深冷装置、深冷处理设备和方法

    公开(公告)号:CN113005267A

    公开(公告)日:2021-06-22

    申请号:CN202110315715.6

    申请日:2021-03-24

    Abstract: 本公开涉及一种变速率深冷装置、深冷处理设备和方法,变速率深冷装置包括:深冷工件台,用于放置待冷却的工件;第一深冷机构,包括一个或者多个深冷喷头;第二深冷机构,包括一敞口的深冷室,以及设置于所述深冷室内的冷却管道,所述冷却管道用于流经冷却介质以对所述深冷室进行冷却;转移部件,包括延伸至所述深冷室的转移轨道,所述深冷工件台移动地连接于所述转移轨道。上述的变速率深冷装置、设备和深冷处理方法将工件在第一深冷机构处通过深冷喷头喷淋冷却介质冷却至指定温度后,可以通过控制深冷喷头的喷淋参数实现对工件的冷却速度的控制,以改变工件的冷却速率。

    一种变速率升温装置和深冷处理设备

    公开(公告)号:CN215162953U

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202120602375.0

    申请日:2021-03-24

    Abstract: 本公开涉及一种变速率升温装置和深冷处理设备。变速率升温装置包括:升温工件台,用于放置工件;升温机构,包括一个或者多个升温喷头,用于朝向位于所述升温工件台的工件喷淋升温介质以对所述工件进行加热;水槽,设于所述升温机构的升温喷头的下方,用以接收并存储所述升温喷头喷淋的升温介质。上述的变速率升温装置和深冷处理设备将工件在升温机构处通过升温喷头喷淋升温介质进行升温处理,可以提高工件的升温速率,实现变速率升温的效果。而且,进一步对升温介质进行加压、加热,尤其是对气态升温介质温度高的特点,采用喷淋的方式对工件进行升温处理能够有效提高工件的升温速率,可以升温至更高的温度。

    一种变速率深冷装置和深冷处理设备

    公开(公告)号:CN215162943U

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202120602965.3

    申请日:2021-03-24

    Abstract: 本公开涉及一种变速率深冷装置和深冷处理设备,变速率深冷装置包括:深冷工件台,用于放置待冷却的工件;第一深冷机构,包括一个或者多个深冷喷头;第二深冷机构,包括一敞口的深冷室,以及设置于所述深冷室内的冷却管道,所述冷却管道用于流经冷却介质以对所述深冷室进行冷却;转移部件,包括延伸至所述深冷室的转移轨道,所述深冷工件台移动地连接于所述转移轨道。上述的变速率深冷装置和深冷处理设备将工件在第一深冷机构处通过深冷喷头喷淋冷却介质冷却至指定温度后,可以通过控制深冷喷头的喷淋参数实现对工件的冷却速度的控制,以改变工件的冷却速率。

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