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公开(公告)号：CN115735266A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202180045367.3
申请日：2021-07-08
Applicant: 东曹株式会社
IPC: H01L21/285
Abstract: 本发明提供对于在不使用氧化性气体的低温成膜条件下制造含钛薄膜有用的钛络合物。上述钛络合物由通式(1)(式中，R1及R2各自独立地表示碳原子数1～6的烷基，任选相互键合而形成环。X表示CR3或N原子。Y表示CR4或N原子。Z表示CR5或N原子。R3、R4及R5各自独立地表示氢原子或碳原子数1～6的烷基。n表示1～3的整数。)表示。
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