公开(公告)号：CN114975755A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210593000.1

申请日：2022-05-27

Applicant: 东南大学

Inventor： 于虹 ,  马寅晨 ,  李肖婷

IPC: H01L35/10 ,  H01L35/32 ,  G01J5/12 ,  G01N21/27 ,  G01N21/3504

Abstract: 本发明提供了一种用于非分光红外气体传感器内的红外探测器。红外探测器包括基底和设于基底上的热电堆，热电堆由多对热电偶串联而成，热电偶具有冷端和热端，冷端与基底贴合，热端底部基底从背面刻蚀，形成悬浮结构，热端上部绝缘层开设导热通孔连接顶部红外吸收区。热端上部通孔结构，可以直接连接热端和吸收区，将吸收区的大部分热量传送至热电堆的热端。热端形成悬浮结构，可以减少热端向基底的热传导损失，冷端直接连接基底实现导热，使得冷热端具有较大温差。热电堆的尺寸、连接结构、排布方式等，使探测器输出电压增大。最终满足非分光红外气体传感器内红外探测的要求，并且通孔、背面刻蚀及热电堆结构均结构简单，工艺可实现。

公开(公告)号：CN114964399A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210599053.4

申请日：2022-05-30

Applicant: 东南大学

Inventor： 于虹 ,  李肖婷 ,  马寅晨

IPC: G01F1/688 ,  B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种灵敏度高且抗冲击力强的的热膜式流量传感器及其制备方法，该传感器包括P型硅衬底，悬浮多孔硅，支撑隔离层，中心加热器，第一测量热电堆、第二测量热电堆。该传感器结构采用热分布式测量，第一测量热电堆和第二测量热电堆对称的放置在中心加热器两端，支撑隔离层由二氧化硅支撑膜与氮化硅支撑膜构成，衬底中央由悬浮多孔硅做绝热结构，中心加热器与测量热电堆的热端被放置在绝热结构区域之上，测量热电堆冷端置于绝热结构区域之外。本发明设计的流量传感器具有高灵敏度和高机械强度，在保证传感器精度的同时，大大提高了传感器抗冲击能力。