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公开(公告)号：CN112784372B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202110015320.4
申请日：2021-01-06
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及一种聚焦离子束加工曲面结构灰度图计算方法及系统，首先建立利用传统灰度图加工曲面结构对应的误差通式，然后建立了基于连续元胞自动机的聚焦离子束灰度工艺溅射刻蚀模拟优化系统，误差通式作为初始离子剂量轮廓的补偿量得到优化后的离子剂量轮廓，输入到模拟优化系统中。通过仿真轮廓与设计轮廓的对比，得到轮廓误差，利用遗传算法对误差通式中的自适应参数进行反复筛选，最后系统输出的最佳的离子剂量轮廓，并将其转化为对应的灰度图。本发明提出的加工误差通式，能够对出现的轮廓误差进行普遍意义上的补偿，具有成本低、效率高的优点。
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公开(公告)号：CN112784372A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110015320.4
申请日：2021-01-06
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及一种聚焦离子束加工曲面结构灰度图计算方法及系统，首先建立利用传统灰度图加工曲面结构对应的误差通式，然后建立了基于连续元胞自动机的聚焦离子束灰度工艺溅射刻蚀模拟优化系统，误差通式作为初始离子剂量轮廓的补偿量得到优化后的离子剂量轮廓，输入到模拟优化系统中。通过仿真轮廓与设计轮廓的对比，得到轮廓误差，利用遗传算法对误差通式中的自适应参数进行反复筛选，最后系统输出的最佳的离子剂量轮廓，并将其转化为对应的灰度图。本发明提出的加工误差通式，能够对出现的轮廓误差进行普遍意义上的补偿，具有成本低、效率高的优点。
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