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发明公开
应用于MEMS振荡器电路的全差分MEMS有源驱动电路审中-实审

公开(公告)号：CN118944603A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202411110473.7

申请日：2024-08-14

Applicant: 东南大学

Inventor： 唐路 , 肖涛 , 陈贝宁 , 唐旭升 , 张有明

IPC: H03B5/30 , H03F3/45

Abstract: 本发明公开了一种应用于MEMS振荡器电路的全差分MEMS有源驱动电路，属于有源驱动电路领域，包括：一个跨阻放大器电路，一个可变相位放大器电路，一个可变增益放大器电路和输出缓冲电路。通过设计一种带通相位增益可调节MEMS有源驱动电路，在有源驱动电路部分进行相位增益调节，保证MEMS谐振器在一定的工艺偏差下整个MEMS振荡器环路都能够稳定振荡。

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