公开(公告)号：CN104098331A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201410337855.3

申请日：2014-07-15

Applicant: 东南大学

Inventor： 王增梅 ,  王欢欢 ,  蔡中兰 ,  赵宽

IPC: C04B35/49 ,  C04B35/624

Abstract: 本发明公开了一种锆钛酸钡钙无铅压电薄膜的制备方法，该锆钛酸钡钙的化学通式为：Ba(Ti0.8Zr0.2)O3-0.5(Ba0.7Ca0.3)TiO3。应用溶胶凝胶法旋涂制备锆钛酸钡钙湿膜，经热处理后得到锆钛酸钡钙无铅压电薄膜。该方法简单可靠，工艺重复性好，可操作性强。本发明制备的锆钛酸钡钙无铅压电薄膜致密均匀，具备优异的介电性能(相对介电常数可达1500)，可广泛应用于航空、信息、传感器等领域。

公开(公告)号：CN104098331B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201410337855.3

申请日：2014-07-15

Applicant: 东南大学

Inventor： 王增梅 ,  王欢欢 ,  蔡中兰 ,  赵宽

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/49 ,  C04B35/624

Abstract: 本发明公开了一种锆钛酸钡钙无铅压电薄膜的制备方法，该锆钛酸钡钙的化学通式为：Ba(Ti0.8Zr0.2)O3?0.5(Ba0.7Ca0.3)TiO3。应用溶胶凝胶法旋涂制备锆钛酸钡钙湿膜，经热处理后得到锆钛酸钡钙无铅压电薄膜。该方法简单可靠，工艺重复性好，可操作性强。本发明制备的锆钛酸钡钙无铅压电薄膜致密均匀，具备优异的介电性能(相对介电常数可达1500)，可广泛应用于航空、信息、传感器等领域。