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公开(公告)号：CN115683372A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211341527.1
申请日：2022-10-28
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化锌微米棒高灵敏低温传感器及其制备方法，低温传感器包括石英片衬底、ZnO微米棒、金属电极、银导线和环氧树脂封装材料。制备方法：采用化学气相沉积法制备ZnO微米棒；退火调节ZnO微米棒的缺陷，改善ZnO微米棒温度灵敏度；ZnO微米棒固定于石英片衬底上；ZnO微米棒两端融接铟粒；银导线分别融接进两端铟粒内；将ZnO微米棒、铟粒部分全部封装。导线与系统电路连接，信号接收系统通过无线发射装置在电脑端将电阻信号以可视化的温度信号输出。本发明符合良好的欧姆特性，低温下温度灵敏度为5.3×108Ω/K，具有灵敏度高、测温范围广、响应速度快、可实时监测的优点。
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