一种单芯片双轴集成硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路

    公开(公告)号:CN105424979B

    公开(公告)日:2018-09-18

    申请号:CN201510815561.1

    申请日:2015-11-23

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种本发明提出了一种单芯片双轴集成硅微谐振式加速度计控制电路,它主要包括了四路两个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路,其中一个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路包括双轴硅微谐振式加速度计、接口检测电路、前置放大电路、幅度控制电路、乘法电路、整流电路、测频电路。与现有的成果相比,本发明提出的电路的优点有:可进行双轴加速度测量、体积小、成本低、功耗小、精度高、灵敏度高、可数字化输出。

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