-
公开(公告)号：CN104965529A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201510409674.1
申请日：2015-07-13
Applicant: 东南大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明公开了一种大行程复合式超精密位置测控系统及方法，其中系统包括对准台、检测识别系统、控制系统以及驱动机构，检测识别系统包括基于计算机视觉的图像检测识别系统和基于光栅的叠栅信号检测识别系统；基于计算机视觉的图像检测识别系统包括CCD、放大镜头以及图像采集卡，基于光栅的叠栅信号检测识别系统包括发光器、检测光栅以及光电传感器；控制系统对图像采集卡采集的图像信息进行处理得到位置偏差，对光电传感器测出的由发光器发出的检测光经光栅后产生的叠栅信号的光强进行处理得到相对位移。本发明将基于图像识别的粗对准和基于光栅的细对准结合到一起，提出一种复合式超精密位置，实现了工作台在大行程范围内的高速、高精度对准。
Search Results
1
records
(took 0.013 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
