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公开(公告)号：CN117833861A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311729039.2
申请日：2023-12-15
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于高性能声表面波滤波器的多层薄膜谐振器结构，整体结构由上至下层叠有叉指电极层、压电层、声学布拉格反射层和基底层。本发明基于麦克斯韦方程和牛顿方程，采用格林函数法优化设计了压电层铌酸锂的取向角选择；通过对高阻抗层材料阻抗比的参数优化选择，能够有效抑制杂波模式，集中能量，减少损耗；优化的结构中心频率达3.8GHz，机电耦合系数高于18.3％，相速度可达6400m/s，拥有较高的品质因数Q和良好的温度特性。
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