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公开(公告)号：CN119064629A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411194818.1
申请日：2024-08-29
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于热敏电阻及热电堆的热式风速风向传感器及其工作方法，该传感器结构包括热敏电阻、热电堆、加热电阻、硅衬底、测控IC。所述加热电阻为方形，位于衬底中心。加热电阻四侧分布与其侧边平行的两个热敏电阻及一个热电堆。平行的四个热敏电阻相连接构成一个惠斯通全桥测温结构，平行的两个热电堆相连接构成一个热电堆测温结构。测控IC分布于衬底四角，与加热电阻、热电堆、热敏电阻构成的测温结构相连，用于驱动检测结构并处理其输出信号。本发明采用CMOS工艺，热敏电阻及热电堆结构互为冗余，可提高风速风向检测精度。
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