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发明公开
一种基于双层石墨烯结构的热光微环调制器审中-实审

公开(公告)号：CN118011663A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202311725026.8

申请日：2023-12-15

Applicant: 东南大学

Inventor： 王俊嘉 , 吴晓萱 , 吴云 , 曹正义 , 李忠辉

IPC: G02F1/01 , G02F1/00 , G02B6/12

Abstract: 本发明涉及一种基于双层石墨烯结构的热光微环调制器，包括自下而上依次设置的层状结构：二氧化硅层(1)、苯并环丁烯层(3)、双层石墨烯结构，和金属电极，其中二氧化硅层(1)内掩埋有掩埋硅微环谐振腔波导(2)。与现有技术相比，本发明将双层石墨烯结构作为加热器，集成在硅微环谐振腔上，利用热光效应实现高效率光调制。本发明具有高效率、高速率、小型化等诸多优点，为片上集成光子电路的发展提供了解决方案。

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