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公开(公告)号：CN107329099B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201710483677.9
申请日：2017-06-22
Applicant: 东南大学
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、氧化硅层及金属层，牺牲层的中部空心，氧化层的中部为扭转板，金属层的顶面设有锚区，金属层位于扭转板上方；扭转板的上方设置第一电容、第二电容，第三电容和第四电容，扭转板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线，第四电容引线和沿扭转板边缘布设的金属线；金属线的两端分别与一个焊盘连接；底电极层与金属层连接；在氧化硅层的边部上方设置焊盘，金属层与焊盘连接。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。
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公开(公告)号：CN106442243B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201610855926.8
申请日：2016-09-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种用于检测粉尘浓度的装置及方法，该装置包括PDMS沟道、混合电极和玻璃衬底，其中，PDMS沟道由PDMS材料制成，PDMS沟道包括位于两侧的支撑部，以及与两支撑部顶端固定连接的连接部；两支撑部的底端分别与玻璃衬底的顶面固定连接，PDMS沟道和玻璃衬底之间形成粉尘通道；混合电极位于支撑部中，且贯穿支撑部，混合电极的一端朝向粉尘通道。该检测装置及方法避免了传统的检测装置体积大响应慢的问题，具有便于携带，响应迅速，低消耗，高灵敏的特点。
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公开(公告)号：CN107329099A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710483677.9
申请日：2017-06-22
Applicant: 东南大学
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、氧化硅层及金属层，牺牲层的中部空心，氧化层的中部为扭转板，金属层的顶面设有锚区，金属层位于扭转板上方；扭转板的上方设置第一电容、第二电容，第三电容和第四电容，扭转板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线，第四电容引线和沿扭转板边缘布设的金属线；金属线的两端分别与一个焊盘连接；底电极层与金属层连接；在氧化硅层的边部上方设置焊盘，金属层与焊盘连接。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107356889B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201710483769.7
申请日：2017-06-22
Applicant: 东南大学
IPC: G01R33/06 , G01R33/028
Abstract: 本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的玻璃衬底，深掺杂硅层，掺杂硅层的中部为扭转叉指结构，扭转叉指结构的正对位置设置有静态叉指结构。静态叉指结构的两端设有锚区，中间扭转可动叉指的的支撑梁的两端都设有锚区；静态叉指与中间扭转叉指形成第一电容和第二电容。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。
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公开(公告)号：CN107356889A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710483769.7
申请日：2017-06-22
Applicant: 东南大学
IPC: G01R33/06 , G01R33/028
Abstract: 本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的玻璃衬底，深掺杂硅层，掺杂硅层的中部为扭转叉指结构，扭转叉指结构的正对位置设置有静态叉指结构。静态叉指结构的两端设有锚区，中间扭转可动叉指的支撑梁的两端都设有锚区；静态叉指与中间扭转叉指形成第一电容和第二电容。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。
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公开(公告)号：CN104819918B
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201510220545.8
申请日：2015-05-04
Applicant: 东南大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种粉尘浓度检测装置，该检测装置包括淀积电阻、悬臂梁、玻璃衬底、锥状电极和硅衬底；其中，悬臂梁的端面与硅衬底的端面固定连接，淀积电阻位于悬臂梁与硅衬底接触部位的顶部，且淀积电阻连接悬臂梁与硅衬底；淀积电阻的两端由金属导线引出；锥状电极固定连接在硅衬底上表面，且锥状电极的表面设有钛铜合金层；玻璃衬底位于锥状电极的上方，玻璃衬底上设有通孔，且玻璃衬底的表面设有镍涂层。还公开了粉尘浓度检测方法。该检测装置和方法避免了传统的检测装置体积大响应慢的问题，具有便于携带，响应迅速的特点。
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公开(公告)号：CN106442243A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610855926.8
申请日：2016-09-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01N15/06
CPC classification number: G01N15/0656
Abstract: 本发明公开了一种用于检测粉尘浓度的装置及方法，该装置包括PDMS沟道、混合电极和玻璃衬底，其中，PDMS沟道由PDMS材料制成，PDMS沟道包括位于两侧的支撑部，以及与两支撑部顶端固定连接的连接部；两支撑部的底端分别与玻璃衬底的顶面固定连接，PDMS沟道和玻璃衬底之间形成粉尘通道；混合电极位于支撑部中，且贯穿支撑部，混合电极的一端朝向粉尘通道。该检测装置及方法避免了传统的检测装置体积大响应慢的问题，具有便于携带，响应迅速，低消耗，高灵敏的特点。
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公开(公告)号：CN104819918A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510220545.8
申请日：2015-05-04
Applicant: 东南大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种粉尘浓度检测装置，该检测装置包括淀积电阻、悬臂梁、玻璃衬底、锥状电极和硅衬底；其中，悬臂梁的端面与硅衬底的端面固定连接，淀积电阻位于悬臂梁与硅衬底接触部位的顶部，且淀积电阻连接悬臂梁与硅衬底；淀积电阻的两端由金属导线引出；锥状电极固定连接在硅衬底上表面，且锥状电极的表面设有钛铜合金层；玻璃衬底位于锥状电极的上方，玻璃衬底上设有通孔，且玻璃衬底的表面设有镍涂层。还公开了粉尘浓度检测方法。该检测装置和方法避免了传统的检测装置体积大响应慢的问题，具有便于携带，响应迅速的特点。
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