公开(公告)号：CN103979962B

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201410226234.8

申请日：2014-05-26

Applicant: 东南大学

Inventor： 王增梅 ,  王欢欢 ,  蔡中兰 ,  徐茜蕾

IPC: C04B35/49 ,  C04B35/624

Abstract: 本发明公开了一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法，该锆钛酸钡钙的化学通式为：(1-x)Ba(Ti0.8Zr0.2)O3-x(Ba0.7Ca0.3)TiO3。应用溶胶凝胶法制备不同成分的锆钛酸钡钙溶胶，依次在Pt/Ti/SiO2衬底上通过旋涂法涂覆，制备BZT-xBCT梯度厚膜，经过热处理后得到无铅锆钛酸钡钙梯度厚膜。该方法简单可靠，工艺重复性好，可操作性强。本发明制备的锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜无孔隙、无裂纹、均匀度一致，兼具薄膜与体材料的优点，可与半导体工艺兼容。

公开(公告)号：CN103979962A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201410226234.8

申请日：2014-05-26

Applicant: 东南大学

Inventor： 王增梅 ,  王欢欢 ,  蔡中兰 ,  徐茜蕾

IPC: C04B35/49 ,  C04B35/624

Abstract: 本发明公开了一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法，该锆钛酸钡钙的化学通式为：(1-x)Ba(Ti0.8Zr0.2)O3-x(Ba0.7Ca0.3)TiO3。应用溶胶凝胶法制备不同成分的锆钛酸钡钙溶胶，依次在Pt/Ti/SiO2衬底上通过旋涂法涂覆，制备BZT-xBCT梯度厚膜，经过热处理后得到无铅锆钛酸钡钙梯度厚膜。该方法简单可靠，工艺重复性好，可操作性强。本发明制备的锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜无孔隙、无裂纹、均匀度一致，兼具薄膜与体材料的优点，可与半导体工艺兼容。