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公开(公告)号:CN119901396A
公开(公告)日:2025-04-29
申请号:CN202510084718.1
申请日:2025-01-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种悬浮栅极晶体管式的灵敏度可调节的柔性压力传感器及其制备方法,包括:柔性电极衬底、半导体层和作为栅极的压力敏感层;柔性电极衬底包括有源漏电极和导电沟道;半导体层包括活性层和垫片,活性层完全覆盖源漏电极和导电沟道,且与源漏电极物理接触;垫片设置在活性层上,且该垫片对应设置在导电沟道的两侧;压力敏感层位于垫片上,形成悬浮栅结构;当柔性压力传感器受到外界压力时,压力敏感层发生形变,改变活性层的电荷量实现对外界压力的灵敏检测;通过调节源漏电压和栅极电压,调节柔性压力传感器的灵敏度;本发明具有低成本、工艺简单等优点,在柔性压力传感器领域能够广泛应用。